一种晶硅太阳能电池低压退火方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112670374A(43)申请公布日2021.04.16(21)申请号202011634669.8(22)申请日2020.12.31(71)申请人广东爱旭科技有限公司地址528000广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南3号申请人浙江爱旭太阳能科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司(72)发明人吴疆杨苏平陈刚(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限公司44202代理人胡枫李素兰(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/068(2012.01)权利要求书1页说明书8页附图1页(54)发明名称一种晶硅太阳能电池低压退火方法(57)摘要本发明公开了一种晶硅太阳能电池低压退火方法，包括：(1)向退火炉中通入氮气，调节退火炉的炉内压力与炉内温度；(2)将装载硅片的石英舟放入退火炉内；(3)对退火炉进行抽空处理，通入氮气和氧气，调节炉内压力；(4)对硅片进行热氧化处理，形成氧化硅层；(5)对硅片进行退火处理；(6)向炉内通入氮气，使退火炉的炉内压力回升；(7)出舟；其中，步骤(3)(4)(5)的炉内压力保持在100‑300mbar。本发明在低压条件下进行热氧化处理和退火处理，操作简单可控，采用本发明，能够生长得到均匀、致密的氧化硅层，从而提高电池的转换效率和可靠性高。CN112670374ACN112670374A权利要求书1/1页1.一种晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，包括：(1)向退火炉中通入氮气，调节退火炉的炉内压力与炉内温度；(2)将装载硅片的石英舟放入退火炉内；(3)对退火炉进行抽空处理，通入氮气和氧气，调节炉内压力；(4)对硅片进行热氧化处理，形成氧化硅层；(5)对硅片进行退火处理；(6)向炉内通入氮气，使退火炉的炉内压力回升；(7)出舟；其中，步骤(3)(4)(5)的炉内压力保持在100‑300mbar。2.如权利要求1所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(3)(4)(5)中向退火炉中持续通入氮气和氧气；所述氮气的气体流量为5000‑8000sccm，所述氧气的气体流量为500‑1500sccm。3.如权利要求1所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(4)的热氧化时间为900s‑1500s，步骤(5)的退火时间为400s‑800s。4.如权利要求1所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(2)包括：向退火炉中通入氮气；将装载硅片的石英舟水平进舟，舟体到达指定位置后，再垂直放舟；所述水平进舟的速度为4‑10mm/s，所述垂直放舟的速度为2‑6mm/s，所述水平进舟和垂直进舟的总时间为500s‑700s。5.如权利要求4所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(1)和(2)中，所述退火炉的炉内温度为680‑720℃，炉内压力为1000‑1100mbar；所述氮气的气体流量为8000‑12000sccm。6.如权利要求1所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(3)中，所述抽空处理的抽空时间为200s‑500s。7.如权利要求1所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(4)中，所述退火炉的炉内温度保持在700‑750℃；步骤(5)中，退火炉降温并保持在600‑650℃。8.如权利要求1所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(6)中，通入的所述氮气的气体流量为8000‑12000sccm，使退火炉的炉内压力回升至1000‑1100mbar，并调节炉内温度为600‑700℃。9.如权利要求1所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(7)包括：向退火炉中通入氮气，所述氮气的气体流量为8000‑12000sccm；维持炉内压力为1000‑1100mbar，炉内温度为600‑700℃；在退火炉中进行垂直顶舟，并经水平出舟将硅片取出退火炉，待石英舟完全取出后，关闭退火炉炉门；所述顶舟速度为2‑6mm/s，所述水平出舟速度为4‑10mm/s，所述垂直顶舟和水平出舟的总时间500s‑700s。10.如权利要求1所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，所述氧化硅层厚度为3‑10nm。2CN112670374A说明书1/8页一种晶硅太阳能电池低压退火方法技术领域[0001]本发明涉及电池技术领域，尤其涉及一种晶硅太阳能电池低压退火方法。背景技术[0002]随着不可再生能源的减少及环境问题日益凸显，人们对清洁能源的追求日趋强烈。太阳能作为一种可再生的清洁能源，越来越受到人们的青睐。太阳能电池是一种能有效吸收太阳辐射能，利用光生伏打效应把光能转换成电能的器件，其中电池片是该器件重要的组成部分。提高电池片的效率、可靠性及降低电池片的成本，对太阳能光