烘干固化炉装置和烘干方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112964047A(43)申请公布日2021.06.15(21)申请号202110297953.9F26B3/02(2006.01)(22)申请日2021.03.19(71)申请人常州捷佳创智能装备有限公司地址213133江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号(72)发明人左国军吴勇茂钟文魁罗搏飞冼志军(74)专利代理机构北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)11343代理人尚志峰(51)Int.Cl.F26B15/14(2006.01)F26B25/18(2006.01)F26B25/00(2006.01)F26B25/06(2006.01)权利要求书2页说明书13页附图12页(54)发明名称烘干固化炉装置和烘干方法(57)摘要本发明提供了一种烘干固化炉装置和烘干方法，固化炉装置包括：花篮，工件沿第一方向叠放于花篮上，炉体装置，花篮沿第二方向在炉体装置内传送，第一方向和第二方向相垂直。本发明的技术方案中，花篮用于装载硅片，并将硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率。CN112964047ACN112964047A权利要求书1/2页1.一种烘干固化炉装置，用于烘干工件(600)，其特征在于，所述固化炉装置包括：花篮(10)，所述工件(600)沿第一方向叠放于所述花篮(10)上；炉体装置(300)，所述花篮(10)沿第二方向在所述炉体装置(300)内传送，所述第一方向和所述第二方向相垂直。2.根据权利要求1所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述固化炉装置还包括：机架(200)，包括主容纳腔(202)和设置于所述主容纳腔(202)至少一侧的侧腔(204)内，所述炉体装置(300)设置在所述主容纳腔(202)内；升降机构(100)，设置在所述侧腔(204)内；控制系统，与所述升降机构(100)和所述炉体装置(300)连接；其中，所述花篮(10)沿第一方向放置在所述升降机构(100)上或者所述炉体装置(300)内；所述控制系统通过控制所述升降机构(100)动作，以将所述工件(600)传送至所述炉体装置(300)内进行烘干，或者以将烘干后的所述工件(600)传送至其他位置。3.根据权利要求2所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述烘干固化炉装置还包括回传机构(400)，所述回传机构(400)用于回传空载的所述花篮(10)。4.根据权利要求2所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述机架(200)还包括中间分隔板(206)，所述中间分隔板(206)设置在所述主容纳腔(202)内，用于将所述主容纳腔(202)分隔成上腔体(2022)和下腔体(2024)，所述炉体装置(300)设置在所述上腔体(2022)内。5.根据权利要求3所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述机架(200)包括两个所述侧腔(204)，两所述侧腔(204)分别设置在所述主容纳腔(202)的两侧，所述固化炉装置包括两个所述升降机构(100)，两个所述升降机构(100)分别设置在对应的所述侧腔(204)内，所述回传机构(400)设置在所述下腔体(2024)内，且与所述控制系统连接。6.根据权利要求1至5中任一项所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述花篮(10)包括：上端板(12)；下端板(14)，与所述上端板(12)在第一方向上间隔设置，且位于所述上端板(12)的下方；支撑件(16)，一端与所述上端板(12)连接，所述支撑件(16)的另一端与所述下端板(14)连接；其中，所述支撑件(16)包括安装槽(162)，所述安装槽(162)用于装载所述工件(600)。7.根据权利要求2所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述烘干固化炉装置还包括两个上下料机构(500)，两个所述上下料机构(500)分别设置在对应的所述侧腔(204)内，两个所述上下料机构(500)与两个所述升降机构(100)一一对应地设置，且与所述控制系统连接。8.根据权利要求7所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述烘干固化炉装置还包括两个缓存机构(700)，两个所述缓存机构(700)分别设置在对应的所述侧腔(204)内，两个所述缓存机构(700)与两个所述上下料机构(500)一一对应地设置，且与所述控制系统连接。9.根据权利要求7所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述烘干固化炉装置还包括翻片机构(800)，所述翻片机构(800)设置在所述主容纳腔(202)右侧的所述侧腔(204)内，且2CN112964047A权利要求书2/2页与位于同一所述侧腔(204)内的所述上下料机构(500)对应设置