一种光伏电池制造用扩散炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113036003A(43)申请公布日2021.06.25(21)申请号202110244706.2(22)申请日2021.03.05(71)申请人黄金花地址610218四川省成都市双流区正兴街道石岩村(72)发明人黄金花(74)专利代理机构深圳运赢知识产权代理事务所(普通合伙)44771代理人刘雯(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称一种光伏电池制造用扩散炉(57)摘要本发明涉及光伏电池制造技术领域，且公开了一种光伏电池制造用扩散炉，包括固定箱和气泵，所述固定箱的顶部固定安装有散气箱，所述散气箱上均匀活动安装有扩散炉，所述扩散炉的内部均匀活动卡接有硅片，所述扩散炉中开设有活动槽，所述活动中活动卡接有密封隔板，所述密封隔板与硅片的侧面活动卡接。通过散气箱、扩散炉和密封隔板的设置，使得可以将硅片进行水平放置后，待散气箱的内部气压达到一定时，且在O2的氧化下POCl3彻底分解成可对硅片氧化的P2O5，而后拉开密封隔板，使得氧化气体涌向硅片，对硅片进行全面的扩散氧化，保证硅片氧化的均匀性，同时，使得氧化气体能够以相对稳定的状态与硅片接触，减少波动，提高硅片氧化的质量。CN113036003ACN113036003A权利要求书1/1页1.一种光伏电池制造用扩散炉，包括固定箱(1)和气泵，其特征在于：所述固定箱(1)的顶部固定安装有散气箱(2)，所述散气箱(2)上均匀活动安装有扩散炉(3)，所述扩散炉(3)的内部均匀活动卡接有硅片(4)，所述扩散炉(3)中开设有活动槽，所述活动中活动卡接有密封隔板(5)，所述密封隔板(5)与硅片(4)的侧面活动卡接，所述固定箱(1)的内腔中固定安装与中心管(6)，所述中心管(6)的内部活动安装有活动轴(7)，所述活动轴(7)上且位于中心管(6)的内部均匀固定套接有受力叶轮(8)，所述活动轴(7)的底部且位于固定箱(1)的内腔中固定套接有搅拌叶轮(9)，所述散气箱(2)的顶部固定安装有集气箱(10)，所述进气管(11)上且位于集气箱(10)的内部均匀固定安装有进气管(11)，所述中心管(6)的顶端通过气管与气泵连通。2.根据权利要求1所述的一种光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述扩散炉(3)包括保温层(31)和固定锁扣(34)，所述固定锁扣(34)与散气箱(2)的上表面固定连接，所述保温层(31)的内侧固定安装有加热板(32)，所述保温层(31)的顶部固定安装有连接板(33)，所述连接板(33)和固定锁扣(34)活动卡接，所述加热板(32)的侧壁固定安装有石英舟(35)，所述石英舟(35)与硅片(4)活动卡接。3.根据权利要求1所述的一种光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述散气箱(2)层中心管(6)呈六边形，所述扩散炉(3)有六个。4.根据权利要求1所述的一种光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述固定箱(1)的内腔中灌装有POCl3液体，且液体的液面不超过最底部受力叶轮(8)的位置。5.根据权利要求1所述的一种光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述进气管(11)斜向上且与中心管(6)呈45度夹角。2CN113036003A说明书1/3页一种光伏电池制造用扩散炉技术领域[0001]本发明涉及光伏电池制造技术领域，具体为一种光伏电池制造用扩散炉。背景技术[0002]扩散炉是太阳能电池研制中的工艺之一，主要是由高温炉反应室、温度控制系统及进排气系统组成，其用各种于各种化学气相沉积工艺将氧化剂以扩散方式在高温炉腔内制备高度稳定性的化学性和电绝缘性的二氧化硅等材料，在生产晶体硅太阳电池过程中，采用POCl3高温分解扩散法在扩散炉中对晶圆片进行加工其原理为：首先，将扩散炉内温度保持在800‑1000℃的恒温区，然后向炉内依次通POCl3和O2，在高温下，掺杂气体与晶圆片上的Si发生相应的化学反应，生产P原子，P原子向Si原子内扩散，从而晶圆片表面形成P‑N结，但，目前使用的扩散炉存在一些不足，如下：[0003]其一，目前，光伏行业普遍采用管式扩散炉对硅片扩散，扩散炉的主体为石英管圆柱体，圆柱体两端的两个圆面分别为设有进气口的管口和排气口的管尾，石英舟为长条形，两端分别靠近石英管的进气口和排气口，在扩散过程中，混合气体从插满硅片的石英舟舟头扩散到舟尾，混合气体的浓度会逐渐降低，扩散速率会变慢，导致石英舟上不同位置硅片的方阻存在差异，质量存在差异。[0004]其二，现有扩散炉对于工艺掺杂气体的通入都是采用大N2、O2与小N2带POCl3混合后，从排入管送入扩散炉内，O2需要满足过程反应通入过量的要求，以使POCl3高温分解彻底，而过量的O