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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113024256A(43)申请公布日2021.06.25(21)申请号202110296116.4C04B35/626(2006.01)(22)申请日2021.03.19C04B35/64(2006.01)(71)申请人哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司地址150000黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3043号哈尔滨松北(深圳龙岗)科技创新产业园12栋1-5楼(72)发明人不公告发明人(74)专利代理机构哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)23209代理人陈润明(51)Int.Cl.C04B35/565(2006.01)C04B35/563(2006.01)C04B35/622(2006.01)权利要求书1页说明书6页(54)发明名称一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼-碳化硅复合陶瓷的生产方法(57)摘要一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼‑碳化硅复合陶瓷的生产方法,它属于碳化硼‑碳化硅复合陶瓷制备技术领域。本发明要解决的技术问题为废料的回收再利用。本发明将磨料为碳化硼的碳化硅晶体研磨废液搅拌后,利用过滤器进行分离,得到颗粒,水洗后得到第一滤渣加入盐酸溶液浸泡并充分搅拌60‑120min,然后水洗、烘干、球磨后置于模具中于进行冷等静压成型,将成型胚料放入真空电炉内烧制,以2‑5℃/min升温至300℃并保温30min,再以3‑5℃/min升温至1600‑2000℃并保温30min,最后以3‑8℃/min降温至1000℃,关闭真空电炉电源使其自然冷却至室温。本发明用于碳化硅晶体研磨废液的回收。CN113024256ACN113024256A权利要求书1/1页1.一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼‑碳化硅复合陶瓷的生产方法,其特征在于:包括如下步骤:步骤1、将磨料为碳化硼的碳化硅晶体研磨废液搅拌4‑8h后,利用过滤器进行分离,得到一级滤液、一级颗粒,待用;步骤2、搅拌一级滤液4‑8h后,利用过滤器进行分离,得到二级滤液、二级颗粒,待用;步骤3、收集一级颗粒、二级颗粒,送入水洗池,加入纯水浸泡并充分搅拌30‑50min,然后用压滤机进行固液分离,得到第一滤渣,待用;步骤4、将第一滤渣送入水洗池,加入盐酸溶液浸泡并充分搅拌60‑120min,然后用压滤机进行固液分离,得到的滤渣送入水洗池,重复水洗直至PH值为7,得到第二滤渣,待用;步骤5、将第二滤渣烘干后,放入入树脂球磨罐中球磨,然后过100‑200目筛网,得到胚料,待用;步骤6、将胚料置于模具中于进行冷等静压成型,得到成型胚料,待用;步骤7、将成型胚料放入真空电炉内烧制,以2‑5℃/min升温至300℃并保温30min,再以3‑5℃/min升温至1600‑2000℃并保温30min,最后以3‑8℃/min降温至1000℃,关闭真空电炉电源使其自然冷却至室温,得到碳化硼‑碳化硅复合陶瓷。2.根据权利要求1所述的一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼‑碳化硅复合陶瓷的生产方法,其特征在于:步骤1中过滤精度为0.1‑0.2mm,得到的一级颗粒的粒径为100‑200μm。3.根据权利要求1或2所述的一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼‑碳化硅复合陶瓷的生产方法,其特征在于:步骤2中过滤精度为0.05‑0.1mm,得到的二级颗粒的粒径为10‑100μm。4.根据权利要求3所述的一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼‑碳化硅复合陶瓷的生产方法,其特征在于:步骤3中一级颗粒、二级颗粒的总质量和加入纯水的质量比为1:2‑4。5.根据权利要求4所述的一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼‑碳化硅复合陶瓷的生产方法,其特征在于:步骤4中第一滤渣和盐酸溶液的质量比为1:2‑4,所述的盐酸溶液的浓度为1‑5wt%。6.根据权利要求5所述的一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼‑碳化硅复合陶瓷的生产方法,其特征在于:步骤5中第二滤渣烘干温度200‑300℃,烘干时间8‑12h,球磨时间为45‑90min,得到的胚料的粒度为20‑150μm。7.根据权利要求6所述的一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼‑碳化硅复合陶瓷的生产方法,其特征在于:步骤6中的冷等静压成型压力为10‑15Mpa。8.根据权利要求7所述的一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼‑碳化硅复合陶瓷的生产方法,其特征在于:真空电炉烧制过程为以3℃/min升温至300℃并保温30min,再以4℃/min升温至2000℃并保温30min,最后以5℃/min降温至1000℃,关闭真空电炉电源使其自然冷却至室温。2CN113024256A说明书1/6页一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼‑碳化硅复合陶瓷的生产方法技术领域[0001]本发明属于碳化硼‑碳化硅复合陶瓷制备技术