预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共11页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113234945A(43)申请公布日2021.08.10(21)申请号202110493470.6(22)申请日2021.05.07(71)申请人先导薄膜材料(广东)有限公司地址511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区(72)发明人王慧康蔡新志童培云朱刘冉成义(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限公司44202代理人颜希文(51)Int.Cl.C22C1/02(2006.01)C22C19/03(2006.01)C23C14/34(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图2页(54)发明名称一种钛镍形状记忆合金靶材及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种钛镍形状记忆合金靶材及其制备方法。所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法包括如下步骤:S1:将金属钛和金属镍以交替平铺的方式加入容器中进行熔炼得到合金熔体;S2:将S1得到的合金熔体进行浇铸,冷却得到靶坯;S3:将所述靶坯进行机加工后得到所述钛镍形状记忆合金靶材。本发明将金属钛和金属镍以交替平铺的方式加入容器中进行熔炼,有利于降低熔炼过程中的温度,减少熔炼过程中的吸气,既保证合金的纯度要求,又提高熔炼速度和熔炼炉的寿命。而且采用所述制备方法制备的钛镍合金靶材组分均匀,C、O等杂质含量低,靶材纯度高。CN113234945ACN113234945A权利要求书1/1页1.一种钛镍形状记忆合金靶材的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:将金属钛和金属镍以交替平铺的方式加入容器中进行熔炼得到合金熔体;S2:将S1得到的合金熔体进行浇铸,冷却得到靶坯;S3:将所述靶坯进行机加工后得到所述钛镍形状记忆合金靶材。2.如权利要求1所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法,其特征在于,所述S1中,金属钛和金属镍的重量比为金属钛:金属镍=3‑5:5‑7。3.如权利要求1所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法,其特征在于,所述S1中,金属钛和金属镍的重量比为金属钛:金属镍=4:6。4.如权利要求1所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法,其特征在于,所述S1具体为:金属钛和金属镍以交替平铺的方式加入容器后,将容器抽真空后充入保护气,再次抽真空充入保护气使容器内气压为2.0×10‑2Pa。5.如权利要求1所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法,其特征在于,所述S1中,熔炼的温度为1350‑1360℃,熔炼时间为4‑8min。6.如权利要求1所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法,其特征在于,所述S1中,熔炼的温度为1350℃,熔炼时间为5‑7min。7.如权利要求5或6所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法,其特征在于,所述S1中,将熔炼炉内温度在6‑7min内升至熔炼温度后进行熔炼。8.如权利要求1所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法,其特征在于,所述S2中,将合金熔体置于碳钢模具中浇铸,同时使用循环冷却水,使合金熔体自下而上冷却,得到所述靶坯。9.如权利要求1所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法,其特征在于,所述S2中,将合金熔体在10s内完成浇铸;冷却时间为2h,冷却水的温度为10℃。10.采用如权利要求1‑9任一项所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法制备的钛镍形状记忆合金靶材。2CN113234945A说明书1/7页一种钛镍形状记忆合金靶材及其制备方法技术领域[0001]本发明属于形状记忆合金靶材制备技术领域,具体涉及一种钛镍形状记忆合金靶材及其制备方法。背景技术[0002]中国发明专利(CN109666813)公开了一种高纯钛镍铜记忆合金铸锭的制备方法,具体步骤如下:首先将钛、镍、铜原料进行筛选、清洗、称重;然后根据预设条件进行真空感应熔炼,包括(送电、除气、精炼、浇注),得到钛镍铜合金铸锭;再采用热等静压方法对浇注后的铸锭进行后处理;最后将处理后的铸锭进行探伤、切冒口和底垫,得到高纯钛镍铜铸锭。该方法制备的钛镍合金铸锭熔炼浇铸工序过程操作复杂、热等静压方法虽然能够消除熔炼形成的冶金缺陷技术问题,但其处理成本也高,在一定程度能够达到氧元素含量稳定,晶粒组织细小、冶金缺陷减少的目的,但操作复杂、效果不佳。发明内容[0003]针对上述现有技术的缺点,本发明提供一种钛镍形状记忆合金靶材及其制备方法,本发明提供的制备方法简单,所制备的钛镍形状记忆合金靶材具有纯度高,组分均匀,形貌良好的优点。[0004]为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:[0005]一种钛镍形状记忆合金靶材的制备方法,包括如下步骤:[0006]S1:将金属钛和金属镍以交替平铺的方式加入容器中进行熔炼得到合金熔体;[0007]S2:将S1得到的合金熔体进行浇铸,冷却得到靶坯;[0008]S3:将所述靶坯进行机加工后得到所述钛镍形状记忆合金靶材。[0009]本发明