一种新型多晶硅铸锭装置及其铸锭方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113279059A(43)申请公布日2021.08.20(21)申请号202011043384.7(22)申请日2020.09.28(71)申请人晶海洋半导体材料（东海）有限公司地址222000江苏省连云港市东海县高新区（铁路南侧、湖东路东侧）(72)发明人戚凤鸣许高升孙宗阳(74)专利代理机构连云港润知专利代理事务所32255代理人王彦明(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B28/06(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称一种新型多晶硅铸锭装置及其铸锭方法(57)摘要本发明公开了一种新型多晶硅铸锭装置及其铸锭方法，包括外炉，外炉包括顶盖，顶盖底部固定安装有中部炉体,中部炉体底部固定安装有底盖，顶盖顶部固定安装有卸荷口，卸荷口两侧分别固定安装有连接柱，中部炉体一侧固定安装有真空装置，中部炉体另一侧固定安装有氮气输送装置，支撑柱在靠近氮气输送装置一侧固定安装有控制器。该种新型多晶硅铸锭装置及其铸锭方法，结构简单合理，设计新颖，通过外炉有顶盖、中部炉体和底盖三段式设立，达到装置前期便于运输和安装的目的，同时便于装置后期在对多晶硅加热时，通过防护座和集硅池的设置，达到避免高温的硅液接触到炉体，保证装置的安全性，同时也对外溢的硅液进行集中回收。CN113279059ACN113279059A权利要求书1/2页1.一种新型多晶硅铸锭装置及其铸锭方法，其特征在于，包括：外炉（1），所述外炉（1）包括顶盖（2），所述顶盖（2）底部固定安装有中部炉体（3）,所述中部炉体（3）底部固定安装有底盖（4），所述顶盖（2）顶部固定安装有卸荷口（5），所述卸荷口（5）两侧分别固定安装有连接柱（6），所述中部炉体（3）一侧固定安装有真空装置（7），所述中部炉体（3）另一侧固定安装有氮气输送装置（8），所述中部炉体（3）底部两侧固定安装有支撑柱（9），所述支撑柱（9）在靠近氮气输送装置（8）一侧固定安装有控制器（10），所述外炉（1）内部固定安装有隔热笼（11）；隔热笼（11），所述隔热笼（11）顶部固定安装有废气排放管（12），所述隔热笼（11）内部两侧固定安装有辅助加热器（13），所述隔热笼（11）内部且在两个所述辅助加热器（13）之间固定安装有石英坩埚（14），所述石英坩埚（14）底部固定安装有加热器转换台（15），所述加热器转换台（15）底部固定安装有集硅池（16），所述集硅池（16）底部固定安装有载物台（17），所述载物台（17）底部固定安装有石墨立柱（18）。2.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅铸锭装置及其铸锭方法，其特征在于：所述卸荷口（5）顶部固定安装有卸荷盖（19），所述卸荷盖（19）通过铰链固定安装在卸荷口（5）箱体顶部，所述卸荷口（5）贯穿顶盖（2），延伸至中部炉体（3），两个所述连接柱（6）贯穿顶盖（2）延伸至中部炉体（3），且与隔热笼（11）顶部固定连接。3.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅铸锭装置及其铸锭方法，其特征在于：所述真空装置（7）包括外箱体（20），所述外箱体（20）内部固定安装有真空泵（21），所述真空泵（21）顶部固定安装有抽气管（22），所述抽气管（22）贯穿外箱体（20）和中部炉体（3），且延伸至中部炉体（3）内部，所述抽气管（22）在外箱体（20）内部固定安装有过滤器（23）。4.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅铸锭装置及其铸锭方法，其特征在于：所述氮气输送装置（8）包括壳体（24），所述壳体（24）内部固定安装有输送泵（25），所述输送泵（25）顶部固定安装有输送管（26），所述输送管（26）贯穿壳体（24）和中部炉体（3），且延伸至中部炉体（3）内部，所述壳体（24）内部固定安装有气体储量感应器（27），所述气体储量感应器（27）与控制器（10）电性连接。5.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅铸锭装置及其铸锭方法，其特征在于：所述隔热笼（11）包括上隔热屏障（28）和下隔热屏障（29），所述上隔热屏障（28）通过螺钉（30）固定连接在下隔热屏障（29）顶部，且所述螺钉（30）固定安装在上隔热屏障（28）的四角，所述废气排放管（12）固定设置有两个，两个所述废气排放管（12）对称安装在上隔热屏障（28）顶部。6.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅铸锭装置及其铸锭方法，其特征在于：所述石英坩埚（14）固定设置有四个，四个所述石英坩埚（14）为标准的450公斤的石英坩埚（14），四个所述石英坩埚（14）固定安装在加热器转换台（15）顶部，所述加热器转换台（15）顶部固定设置有放置槽，所述石英坩埚（14）与放置槽一一对应。7.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅铸锭装置及其铸