气相式加热方法及气相式加热装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113441804A(43)申请公布日2021.09.28(21)申请号202110207720.5(22)申请日2021.02.24(30)优先权数据2020-0562552020.03.26JP(71)申请人松下知识产权经营株式会社地址日本大阪府(72)发明人永井耕一日野直文(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人刘文海(51)Int.Cl.B23K1/015(2006.01)权利要求书1页说明书11页附图7页(54)发明名称气相式加热方法及气相式加热装置(57)摘要本发明提供能够将对被加热物供给的热转移液的蒸气量控制为规定量而使加热能力恒定、且能够进行稳定的加热的气相式加热方法及气相式加热装置。在加热炉(1)中，从被加热物(7)的上方供给蒸气而加热被加热物，蒸气与被加热物接触而冷却液化，并通过相变将蒸气的冷凝潜热赋予被加热物，之后在加热炉的下方从被加热物的表面回收，未与被加热物接触的蒸气也在冷却部中液化并在加热炉的下方回收，由此从加热炉的上部连续地供给蒸气。由此，通过将热转移液(6)的蒸气的供给量保持为规定量，从而以规定的升温速度对设置于加热炉内的被加热物进行加热。CN113441804ACN113441804A权利要求书1/1页1.一种气相式加热方法，其中，向加热炉供给热转移液的蒸气，并利用所供给的所述蒸气的冷凝潜热在所述加热炉内进行被加热物的加热，在所述气相式加热方法中，利用加热源加热所述热转移液而使所述热转移液成为规定量的蒸气，将所述蒸气从所述加热炉的上方朝向下方供给到所述加热炉内，在所述加热炉内利用所述蒸气加热所述被加热物，在所述加热炉内，所述蒸气与所述被加热物接触而冷却液化，并通过相变将所述蒸气的冷凝潜热赋予所述被加热物，之后在所述加热炉的下方回收液化而成的所述热转移液，并且，在所述加热炉的下方回收在所述加热炉内使所述蒸气在比所述被加热物靠下方的位置冷却液化而成的所述热转移液，所述气相式加热方法通过将利用所述加热源加热而产生的所述蒸气在所述加热炉内液化并回收，从而将所述热转移液的规定量的所述蒸气从所述加热炉的上方朝向下方供给，并以规定的升温速度对设置于所述加热炉内的所述被加热物进行加热。2.根据权利要求1所述的气相式加热方法，其中，作为所述热转移液，使用蒸气的比重大于大气的比重的热转移液，加热所述热转移液而使所述热转移液成为蒸气，所述蒸气从所述加热炉的上方由于自重而下落，由此将所述热转移液的所述蒸气从所述加热炉外供给到所述加热炉内。3.根据权利要求1或2所述的气相式加热方法，其中，在被供给所述热转移液的所述蒸气的所述加热炉的上方，设置具有大致均匀地分布的蒸气开口部的喷出构件，通过由使所述热转移液成为蒸气引起的压力上升，而从所述蒸气开口部将所述蒸气向下喷出。4.一种气相式加热装置，其中，所述气相式加热装置具备：加热炉，其将被加热物保持于内部的保持位置，并使热转移液的蒸气与所述被加热物接触而利用所述蒸气的冷凝潜热进行所述被加热物的加热；加热源，其加热所述热转移液而使所述热转移液成为所述蒸气；喷出构件，其将来自所述加热源的所述蒸气从所述加热炉的上方朝向下方喷出到所述加热炉内；冷却部，其设置于在所述加热炉内比所述被加热物的所述保持位置靠下方的位置，并使通过了所述加热炉的所述蒸气液化；热转移液回收槽，其在所述加热炉的下方回收所述热转移液；以及控制部，其控制所述热转移液的所述加热源，并控制向所述加热炉供给的所述热转移液的所述蒸气的供给量，从而将向所述加热炉内供给的所述蒸气调节为规定量。2CN113441804A说明书1/11页气相式加热方法及气相式加热装置技术领域[0001]本发明涉及利用热转移液的蒸气的冷凝潜热来对被加热物进行加热的气相式加热方法及气相式加热装置。背景技术[0002]近年来，在各种工业产品或家电的组装制造工序、或者作为这些产品的构成部件的各种电子部件、各种电池或安装有电子部件的基板等的器件制造工序中，由各种热处理装置处理的被加热物的形状正复杂化。例如，在安装有上述电子部件的基板中，不仅对平面基板，还对立体的基板的水平面以外的部分，在仅涂覆焊膏而配置电子部件那样的保持力弱的状态下，进行用于熔融焊膏并进行接合的加热处理。另外，通过成为立体，被加热物的热容量本身也有增加的倾向。在此，各种热处理装置是指例如干燥炉、固化炉、或者在电子部件的安装工序等中用于钎焊的回流炉等。[0003]在这些被加热物的加热工序中，存在由不均匀的加热能力引起的被加热物的各部位处的温度上升的偏差。在这种情况下，为了得到加热工序期望的所需时间，需要从所有部分升温到期望的温度的状态起进一步保持期望的时间。此时，为了将升温慢的部分保持期望的时间