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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113620589A(43)申请公布日2021.11.09(21)申请号202111010251.4(22)申请日2021.08.31(71)申请人杭州金星通光纤科技有限公司地址310000浙江省杭州市临安区锦城街道青柯村无门牌3(2幢101)(72)发明人刘世浩郑伟章海峰张学军吴志元郑宇(74)专利代理机构南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙)32475代理人曹花(51)Int.Cl.C03B37/014(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种大尺寸光纤预制棒的制造方法(57)摘要本发明公开了一种大尺寸光纤预制棒的制造方法,先采用小芯包比的芯棒为靶棒进行沉积,然后放入石英炉内进行干燥以增加多孔光纤预制棒的密度,干燥过程中通入少量的氯气和惰性气体,氯气的流速为0.3‑0.8L/min,惰性气体流速为5‑10L/min,最后将其放入真空烧结炉内进行烧结致密化,形成最终的大尺寸光纤预制棒。本发明能减少真空烧结炉的负载,可制造出无气泡、大尺寸、低羟基的光纤预制棒,总体制造成本低,适合规模化生产。CN113620589ACN113620589A权利要求书1/1页1.一种大尺寸光纤预制棒的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、在芯棒外侧进行沉积得到第一预制棒;S2、将第一预制棒置于石英炉内,通入少量的氯气和惰性气体,干燥得到第二预制棒;其中,氯气的流速为0.3‑0.8L/min,惰性气体流速为5‑10L/min,第二预制棒与第一预制棒的直径之比为60‑85:100;S3、将第二预制棒进行负压烧结得到大尺寸光纤预制棒。2.根据权利要求1所述大尺寸光纤预制棒的制造方法,其特征在于,所述大尺寸光纤预制棒的外径大于170mm。3.根据权利要求1所述大尺寸光纤预制棒的制造方法,其特征在于,S1中,芯棒的芯包比为3.3‑4.5。4.根据权利要求1所述大尺寸光纤预制棒的制造方法,其特征在于,S2中,惰性气体为氦气、氮气或氩气,优选为氦气。5.根据权利要求1所述大尺寸光纤预制棒的制造方法,其特征在于,S2中,干燥温度为1100‑1300℃,干燥时间为2‑4h。6.根据权利要求1所述大尺寸光纤预制棒的制造方法,其特征在于,S2中,第二预制棒与第一预制棒的密度之比为1.5‑2.6:1。7.根据权利要求1或7所述大尺寸光纤预制棒的制造方法,其特征在于,S2中,第一预制棒的密度为0.35‑0.48g/cm3,第二预制棒的密度为0.7‑0.9g/cm3。8.根据权利要求1所述大尺寸光纤预制棒的制造方法,其特征在于,S3中,第二预制棒与大尺寸光纤预制棒的直径之比为1.4‑1.5:1。9.根据权利要求1所述大尺寸光纤预制棒的制造方法,其特征在于,S3中,所得大尺寸光纤预制棒拉制成光纤后,光纤的1383衰减均值小于0.29dB/km。2CN113620589A说明书1/3页一种大尺寸光纤预制棒的制造方法技术领域[0001]本发明涉及光纤预制棒制造技术领域,尤其涉及一种大尺寸光纤预制棒的制造方法。背景技术[0002]目前,常规的多孔光纤预制棒致密化方法是采用石英烧结炉先进行干燥脱水,再进行烧结玻璃化,并在干燥和烧结过程中通入特定比例的氦气和氯气。[0003]由于近年来氦气价格急增,使光纤预制棒的成本也相应升高。随着光纤预制棒尺寸要求不断增大,在传统的石英烧结炉内烧结会导致大尺寸光纤预制棒的质量降低,产生气泡等缺陷。[0004]因此,国内外开发了真空烧结炉,采用负压烧结多孔光纤预制棒,不通入任何气体或仅通入少量氦气。为避免多孔光纤预制棒水分扩散至芯棒芯层,需要采用大芯包比芯棒沉积多孔光纤预制棒。当生产尺寸较大的光纤预制棒时,直接进行真空烧结,则烧结炉的尺寸需相应地增大,炉内负压保持和热量供应会对设备产生较大的负载。发明内容[0005]本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种大尺寸光纤预制棒的制造方法,先采用小芯包比的芯棒为靶棒进行沉积,然后放入石英炉内进行干燥,增加多孔光纤预制棒的密度,最后将其放入真空烧结炉内进行烧结致密化,形成最终的大尺寸光纤预制棒。[0006]一种大尺寸光纤预制棒的制造方法,包括如下步骤:[0007]采用芯包比为3.3‑4.5的芯棒为靶棒进行沉积,沉积结束得到的第一预制棒密度为0.35‑0.48g/cm3;然后将其放入石英炉内,通入少量的氯气以去除多孔光纤预制棒中的羟基,避免后续烧结过程中水分扩散至芯层;同时通入少量的惰性气体(譬如氦气、氮气、氩气等)充作保护气体;干燥过程中炉温设定为1100‑1300℃。[0008]干燥结束后,第二预制棒羟基含量低,密度增大至0.7‑0.9g/cm3,不易受空气中水分影响;由于干燥温度