光纤预制棒制造设备及方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113860722A(43)申请公布日2021.12.31(21)申请号202111467609.6(22)申请日2021.12.03(71)申请人武汉长盈通光电技术股份有限公司地址430205湖北省武汉市东湖新技术开发区高新五路80号(72)发明人余倩卿易湘贺王中保夏祖明杨威尹力廉正刚皮亚斌(74)专利代理机构武汉维盾知识产权代理事务所(普通合伙)42244代理人彭永念(51)Int.Cl.C03B37/018(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图2页(54)发明名称光纤预制棒制造设备及方法(57)摘要一种光纤预制棒制造设备及方法，它包括PCVD设备本体、石墨炉系统、尾压系统和真空系统，采用在PCVD设备本体的气端载台一侧和泵端载台一侧分别设置石墨炉和谐振腔，保温炉位于石墨炉和谐振腔之间，衬管的延长管被气端载台和泵端载台的卡爪夹持，上下滑移机构驱动保温炉上下滑移，水平移动机构驱动石墨炉和谐振腔水平滑移，尾压系统与泵端载台连通，真空系统与尾压系统连，使衬管在沉积和熔缩烧实过程中在同一设备上完成，沉积后衬管内的压力转入受尾压系统控制状态，无需中途上管，避免高温下转移衬管，避免衬管高温状态转移过程中受应力影响导致炸裂，减少高温衬管转移时空气中的水气、污染物进入衬管内，降低影响光纤衰减的因素。CN113860722ACN113860722A权利要求书1/2页1.一种光纤预制棒制造设备，其特征是：它包括PCVD设备本体、石墨炉系统、尾压系统和真空系统；所述石墨炉系统的石墨炉（41）位于PCVD设备本体的气端载台（15）一侧，PCVD设备本体的泵端载台（16）一侧设置谐振腔（13），石墨炉（41）和谐振腔（13）之间设置保温炉（14），保温炉（14）上下滑移进入气端载台（15）和泵端载台（16）之间，石墨炉（41）和谐振腔（13）水平滑移进入保温炉（14）内，尾压系统与泵端载台（16）连通，真空系统与尾压系统连通。2.根据权利要求1所述的光纤预制棒制造设备，其特征是：所述PCVD设备本体主要包括供料系统、等离子系统、保温炉系统、气端载台（15）和泵端载台（16）；供料系统主要包括存储化学前驱物的料柜（11）和输送前驱物的气柜（12）；等离子系统主要包括微波发生装置、微波波导传输装置、微波检测调节装置、冷却装置和谐振腔（13）组成，用于发生氧化还原反应的能量源；保温炉系统主要包括保温炉（14）连接的开合机构，以及与开合机构连接的上下滑移机构。3.根据权利要求2所述的光纤预制棒制造设备，其特征是：所述开合机构包括开合电机（21）驱动张合的开合臂（22），开合臂（22）与保温炉（14）的二分之一箱体连接，电机（21）固定于支臂（23）上。4.根据权利要求2所述的光纤预制棒制造设备，其特征是：所述上下滑移机构包括升降电机（31）输出端连接的主齿轮（32）啮合的从动轮（33），升降丝杆（34）与从动轮（33）连接，升降丝杆（34）与升降座（35）配合，升降座（35）沿直线轨（36）滑动，升降座（35）与开合机构的支臂（23）连接。5.根据权利要求1所述的光纤预制棒制造设备，其特征是：所述石墨炉系统主要包括石墨炉（41）、循环冷却装置、温控系统和炉内气氛控制系统，在沉积完成后，将石墨炉（41）移动至保温炉（14）内并提供优质的高温热源。6.根据权利要求1所述的光纤预制棒制造设备，其特征是：所述石墨炉（41）和谐振腔（13）与水平移动机构连接；水平移动机构包括滑轨（51）滑动配合的石墨炉载台（52）和谐振腔载台（53），石墨炉丝杆机构（54）和谐振腔丝杆机构（55）分别与石墨炉载台（52）和谐振腔载台（53）配合，石墨炉载台电机（56）和谐振腔载台电机（57）分别与石墨炉丝杆机构（54）和谐振腔丝杆机构（55）连接；集束箱（58）位于石墨炉载台（52）和谐振腔载台（53）之间，拖链（59）与集束箱（58）和石墨炉载台（52）和谐振腔载台（53）连接。7.根据权利要求1所述的光纤预制棒制造设备，其特征是：所述尾压系统包括泵端压力阀（61）连通的旁通管（62），以及位于旁通管（62）上的旁通阀（63），泵端压力阀（61）与泵端载台（16）连通。8.根据权利要求1所述的光纤预制棒制造设备，其特征是：所述真空系统包括真空泵过滤器（71）连接的真空泵（72），真空泵过滤器（71）的进气侧设置真空泵阀（73）与尾压系统的旁通管（62）连通。9.根据权利要求8所述的光纤预制棒制造设备，其特征是：所述真空泵阀（73）和旁通管（62）之间的管路中设置尾排抽风管（81），真空泵（72）出气侧设置尾排管（82）与尾排抽风管（81）连通，尾排抽风管（81）与尾排处理系统（83）连通，尾排抽