用于立式氧化炉恒温区的温度测量方法及温度测量装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113899221A(43)申请公布日2022.01.07(21)申请号202111093219.7(22)申请日2021.09.17(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研究所地址410111湖南省长沙市天心区新开铺路1025号(72)发明人曾裕民万喜新周益华王学仕(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008代理人戴玲(51)Int.Cl.F27D21/00(2006.01)F27D19/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图7页(54)发明名称用于立式氧化炉恒温区的温度测量方法及温度测量装置(57)摘要本发明公开了一种用于立式氧化炉恒温区的温度测量方法及装置，方法包括：将热偶从氧化炉底部的热偶穿孔伸入炉内，并竖向向上移动使热偶的顶部靠近炉顶；将氧化炉下方的升降机构上的热偶座上升至上端极限位置，再将热偶的底部安装在热偶座上；升降机构带着热偶座从上端极限位置匀速移动至下端极限位置，与此同时，控制器实时采集热偶的测量值，获得炉内竖向方向的温度曲线。装置，包括支架、升降机构、热偶座和热偶，热偶竖向设置且底部可拆卸的安装在热偶座上。本发明热偶可沿炉体竖直方向匀速移动，并实时检测反馈炉体内的温度，实现对氧化工艺中温度的精确测量和均匀性控制，提高了立式氧化炉恒温区的温度均匀性。CN113899221ACN113899221A权利要求书1/1页1.一种用于立式氧化炉恒温区的温度测量方法，其特征在于，在氧化炉(1)的底部预留热偶穿孔，所述温度测量方法包括以下步骤：S1、将热偶(2)从氧化炉(1)底部的热偶穿孔伸入炉内，并竖向向上移动使热偶(2)的顶部靠近炉顶，且热偶(2)的底部位于炉外；S2、将氧化炉(1)下方的升降机构(3)上的热偶座(4)上升至上端极限位置，再将热偶(2)的底部安装在热偶座(4)上；S3、升降机构(3)带着热偶座(4)从上端极限位置匀速移动至下端极限位置，与此同时，控制器实时采集热偶(2)的测量值，获得炉内竖向方向的温度曲线。2.一种用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置，其特征在于，包括支架(5)、升降机构(3)、热偶座(4)和热偶(2)，所述升降机构(3)安装在支架(5)上，所述热偶座(4)设于升降机构(3)上，所述热偶(2)竖向设置且底部可拆卸的安装在热偶座(4)上，所述氧化炉(1)的底部设有可供热偶(2)穿过的热偶穿孔。3.根据权利要求2所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置，其特征在于，所述升降机构(3)包括伺服电机(31)、主链轮(32)、从链轮(33)、链条(34)和滑块(35)，所述伺服电机(31)安装在支架(5)底部，所述主链轮(32)与伺服电机(31)的输出轴连接，所述从链轮(33)设于支架(5)的上端，所述链条(34)绕设在主链轮(32)和从链轮(33)上，所述滑块(35)与链条(34)连接，所述热偶座(4)与滑块(35)连接。4.根据权利要求3所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置，其特征在于，所述热偶座(4)通过热偶接引管(41)与滑块(35)连接，所述热偶接引管(41)水平设置。5.根据权利要求3所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置，其特征在于，所述支架(5)上设有竖向导轨(36)，所述滑块(35)滑设于竖向导轨(36)上。6.根据权利要求2至5任意一项所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置，其特征在于，所述支架(5)的上端设有上限位开关(61)，下端设有下限位开关(62)。7.根据权利要求2至5任意一项所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置，其特征在于，所述支架(5)上设有调平机构(7)，所述调平机构(7)包括调平座(71)、吊杆(72)和对中座(73)，所述调平座(71)和对中座(73)均安装在支架(5)上，且对中座(73)设于调平座(71)的下方，所述对中座(73)的上端面设有对中孔(731)，所述吊杆(72)上端悬挂在调平座(71)上且下端指向对中孔(731)。8.根据权利要求3至5任意一项所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置，其特征在于，所述支架(5)上设有刻度(81)，所述滑块(35)上设有可指向刻度(81)的指针(82)。9.根据权利要求2至5任意一项所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置，其特征在于，所述支架(5)的底部设有多个调平支脚(9)。10.根据权利要求5所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置，其特征在于，所述支架(5)包括主板(51)和设于主板(51)两侧的侧板(52)，所述主链轮(32)、从链轮(33)、链条(34)、滑块(35)和竖向导轨(36)设于主板(51)与侧板(52)围成的区域内。2CN113899221A说明书1/4页用于立式氧化