一种芯片制造设备管理方法、装置、电子设备和存储介质.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114298564A(43)申请公布日2022.04.08(21)申请号202111640249.5(22)申请日2021.12.29(71)申请人上海赛美特软件科技有限公司地址201600上海市松江区中辰路299号1幢636室(72)发明人盛旺(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人彭星(51)Int.Cl.G06Q10/06(2012.01)G06Q10/10(2012.01)G06Q50/04(2012.01)权利要求书3页说明书16页附图3页(54)发明名称一种芯片制造设备管理方法、装置、电子设备和存储介质(57)摘要本申请提供了一种芯片制造设备管理方法、装置、电子设备和存储介质，该方法包括：针对目标区域中的每个炉管设备，通过炉管设备的加热均匀度结果、测试片的加工测试结果和出厂参数，确定炉管设备的加工精度，并标记加工精度标签；当检测到第一炉管设备中设置有第一规则时，确定与第一炉管设备具有相同设备能力的第二炉管设备，并确定出与第一规则要求的加工精度标签相同的目标第二炉管设备；根据目标第二炉管设备的加工精度确定目标第二炉管设备的优先同步顺序；按照优先同步顺序，将第一规则同步到目标第二炉管设备中。本申请实施例通过上述方法，能够实现不同设备间规则同步。CN114298564ACN114298564A权利要求书1/3页1.一种芯片制造设备管理方法，其特征在于，所述方法包括：针对目标区域中的每个炉管设备，通过测试所述炉管设备得到的加热均匀度结果、测试片在所述炉管设备加工完成之后的加工测试结果和所述炉管设备的出厂参数，确定所述炉管设备的加工精度；根据每个所述炉管设备的加工精度，为每个所述炉管设备标记加工精度标签；当检测到第一炉管设备中设置有第一规则时，确定所述目标区域内与所述第一炉管设备具有相同设备能力的至少一个第二炉管设备；其中，所述第一规则中包括：允许所述炉管设备加工的产品类别、对每个所述产品类别加工时要求的加工精度标签；从所述至少一个第二炉管设备中，确定出与所述第一规则要求的加工精度标签相同的目标第二炉管设备；根据每个所述目标第二炉管设备的所述加工精度，确定所述目标第二炉管设备的优先同步顺序；按照所述优先同步顺序，将所述第一炉管设备中的所述第一规则同步到所述目标第二炉管设备中。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将所述第一炉管设备中的所述第一规则同步到所述目标第二炉管设备中之后，所述方法还包括：针对每个目标炉管设备，当接收到所述目标炉管设备发送的执行请求时，根据所述执行请求中携带的目标产品的产品类别、所述目标炉管设备的加工精度标签、所述目标炉管设备内的第一规则，判断所述目标炉管设备是否能够对所述目标产品进行加工；所述目标炉管设备包括所述第一炉管设备、所述第二炉管设备；所述执行请求是在所述目标炉管设备检测到所述目标产品到达之后生成的；所述产品类别包括产品的批次、产品的批次类型、产品的型号；所述加工精度标签包括精加工标签、粗加工标签；产品类别与加工精度要求的对应关系是预设的；当判断所述目标炉管设备能对所述目标产品进行加工时，控制所述目标炉管设备执行加工程序。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，当所述第一规则为允许加工精度标签为所述精加工标签的炉管设备对第一产品类别的产品进行加工时，所述方法还包括：针对每个目标炉管设备，当接收到所述目标炉管设备发送的执行请求时，若所述执行请求中所述目标炉管设备的加工精度标签为所述精加工标签，以及所述目标炉管设备接收到的目标产品的产品类别与所述第一产品类别相同，则控制所述目标炉管设备对第一产品类别的产品进行加工。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，当接收到所述目标炉管设备发送的执行请求时，所述方法还包括：若执行请求中所述目标炉管设备的加工精度标签为所述粗加工标签，或所述目标炉管设备接收到的目标产品的产品类别与第一产品类别不同，则控制运输机器人将所述目标产品运离所述目标炉管设备。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在当检测到第一炉管设备中设置有第一规则之前，所述方法还包括：针对每个炉管设备，当检测到所述炉管设备中存在负向规则时，判断所述负向规则中2CN114298564A权利要求书2/3页是否存在附加的特殊负向规则；所述负向规则为不允许所述炉管设备对第二产品类别的产品进行加工；所述特殊负向规则为允许所述炉管设备加工第二产品类别的产品的数量为第一数量；若所述负向规则中存在附加的特殊负向规则，则确定所述特殊负向规则中允许所述炉管设备对所述第二产品类别的产品加工的第一数量；当所述炉管设备在预设周期内对所述第二产品类别的产品加工的第二数量小于所述第一数量时，控制所述炉管设