定位装置及扩散炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114520177A(43)申请公布日2022.05.20(21)申请号202210098808.2(22)申请日2022.01.27(71)申请人青岛惠科微电子有限公司地址266200山东省青岛市即墨区北安街道办事处太吉路1号申请人青岛惠芯微电子有限公司北海惠科半导体科技有限公司(72)发明人宋修扬孙军旗赵利孙玉群(74)专利代理机构深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙)44240专利代理师邢涛(51)Int.Cl.H01L21/68(2006.01)H01L21/677(2006.01)C30B31/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图2页(54)发明名称定位装置及扩散炉(57)摘要本申请公开了一种定位装置及扩散炉，调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置；固定支架通过角度调节装置与底座可转动连接，碳硅桨的一端与固定支架水平连接，控制装置设置在底座上，且与角度调节装置连接；角度传感器、计算模块均设置在固定支架上，角度传感器与计算模块连接，计算模块与控制装置连接；角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度，和石英舟装载硅片后碳硅桨的角度；计算模块用于计算石英舟空载时和装载硅片后碳硅桨的角度差值，并将信号传输给控制装置；控制装置控制角度调节装置，将固定支架抬升一预设角度，且预设角度等于角度差值。本申请能够纠正碳硅桨上料前后的位置误差。CN114520177ACN114520177A权利要求书1/2页1.一种定位装置，用于运送石英舟，所述定位装置包括碳硅桨、调节机构和底座，所述调节机构安装在所述底座上；所述碳硅桨的一端与所述调节机构连接，所述石英舟安装在所述碳硅桨上；其特征在于，所述调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置；所述固定支架通过所述角度调节装置与所述底座可转动连接，所述碳硅桨的一端与所述固定支架水平连接，所述控制装置设置在所述底座上，且与所述角度调节装置连接；所述角度传感器、所述计算模块均设置在所述固定支架上，所述角度传感器与所述计算模块连接，所述计算模块与所述控制装置连接；其中，所述角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度，和所述石英舟装载硅片后所述碳硅桨的角度；所述计算模块用于计算所述石英舟空载时和装载硅片后所述碳硅桨的角度差值，并将信号传输给所述控制装置；所述控制装置控制所述角度调节装置，将所述固定支架抬升一预设角度，且所述预设角度等于所述角度差值。2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述角度调节装置包括调节板，所述控制装置包括伺服电机，所述调节板设置在所述固定支架与所述底座之间，且与所述固定支架固定连接，所述调节板的一端与所述底座通过转轴连接；所述伺服电机与所述转轴连接，所述伺服电机带动所述转轴，将所述调节板抬升至所述预设角度。3.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述控制装置包括气缸，所述角度调节装置包括气压伸缩柱，所述气压伸缩柱的一端与所述气缸连接，另一端与所述固定支架连接，所述气缸带动所述气压伸缩柱运动，将所述固定支架抬升至所述预设角度。4.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述固定支架包括多个固定螺钉和支架，多个所述固定螺钉设置在所述支架上，且多个所述固定螺钉与所述碳硅桨的端部抵接，将所述碳硅桨固定在所述支架上。5.根据权利要求4所述的定位装置，其特征在于，所述碳硅桨靠近所述固定支架的一端套设有保护套，多个所述固定螺钉与所述保护套抵紧。6.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述调节机构还包括横向调节件，所述横向调节件的一端与所述底座固定连接，另一端与所述固定支架连接；所述横向调节件平行于所述底座，用于调节所述固定支架水平方向的位置。7.根据权利要求6所述的定位装置，其特征在于，所述调节结构还包括纵向调节件，所述纵向调节件一端与所述底座连接，另一端与所述固定支架连接；所述纵向调节件垂直于所述底座，用于调节所述固定支架竖直方向的位置。8.一种扩散炉，包括炉管，其特征在于，所述扩散炉还包括如权利要求1至7任意一项所述的定位装置，所述定位装置与所述炉管连接。9.根据权利要求8所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉还包括标尺，用于检测所述碳硅桨的位置；所述标尺包括发射部件和接收部件，所述发射部件设置在所述碳硅桨靠近所述调节机构的一侧，所述接收部件对应所述发射部件的位置设置在所述炉管上。10.根据权利要求9所述的扩散炉，其特征在于，所述标尺为激光标尺，所述发射部件和所述接收部件均为拱形，且所述发射部件和所述接收部件的外缘均为圆弧形，所述发射部件和所述接收部件的内缘均为方形；其中，所述发射部件上设置有电源、充电接口、横向刻度参照、水