一种用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉及其生产方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114645325A(43)申请公布日2022.06.21(21)申请号202210352380.X(22)申请日2022.04.04(71)申请人扬州晶樱光电科技有限公司地址225600江苏省扬州市高邮市经济开发区凌波路86号(72)发明人张力峰朱庆龙杨定勇邹文龙(74)专利代理机构苏州国卓知识产权代理有限公司32331专利代理师马德龙(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉及其生产方法(57)摘要本发明属于多晶铸锭炉技术领域，具体为一种用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉及其生产方法，包括加热桶和一号单向模组，所述加热桶的下端设置有支撑板，所述支撑板的本体上侧镶嵌有下加热盘，所述加热桶的上方设置有可以拆卸的加热盖，所述加热盖的内腔中安装有上加热盘，所述加热桶的外侧套设有环形匀热板，所述环形匀热板的数量至少为两个，所述环形匀热板从上往下依次排列，每个所述匀热板的外侧均设置有一号加热电阻和二号加热电阻，在对加热桶进行快速散热的同时，使用本装置可以使得加热桶保留需要的梯度差以及恒温带，进而可以使得多晶硅锭在高速生产的同时，还可以保持良好的质量。CN114645325ACN114645325A权利要求书1/2页1.一种用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉及其生产方法，包括加热桶(4)和一号单向模组(2)，其特征在于：所述加热桶(4)的下端设置有支撑板(9)，所述支撑板(9)的本体上侧镶嵌有下加热盘(8)，所述加热桶(4)的上方设置有可以拆卸的加热盖(5)，所述加热盖(5)的内腔中安装有上加热盘(6)，所述加热桶(4)的外侧套设有环形匀热板(15)，所述环形匀热板(15)的数量至少为两个，所述环形匀热板(15)从上往下依次排列，每个所述匀热板(15)的外侧均设置有一号加热电阻(16)和二号加热电阻(17)，所述一号加热电阻(16)和二号加热电阻(17)的外侧设置有散热板(7)，所述一号加热电阻(16)的电阻值从下往上依次增大，所述二号加热电阻(17)的电阻值均相等，所述支撑板(9)的上方右侧安装有二号单向模组(11)，所述二号单向模组(11)的滑块左侧安装有转接板(14)，所述转接板(14)的左侧安装有一号动触点(20)和二号动触点(21)，所述一号加热电阻(16)相互串联，且每个所述一号加热电阻(16)均通过导线连接有一号定触点(18)，所述二号加热电阻(17)相互串联，且每个所述二号加热电阻(17)均通过导线连接有二号定触点(19)，所述一号动触点(20)与一号定触点(18)相对应，所述二号动触点(21)与二号定触点(19)相对应，所述一号单向模组(2)的滑块左侧安装有高度测量装置(3)，所述高度测量装置(3)位于加热桶(4)的正上方。2.根据权利要求1所述的一种用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉，其特征在于：所述高度测量装置(3)包括探头(31)和U型板(37)，所述探头(31)的上方安装有压力传感器(32)，所述压力传感器(32)的上方安装有下固定板(33)，所述下固定板(33)的上侧设置有导向柱(35)，所述导向柱(35)贯穿U型板(37)并连接有上固定板(36)，所述上固定板(36)位于U型板(37)的内侧，所述U型板(37)的内侧上方安装有用于测量上固定板(36)高度的高度测量仪(37)，所述下固定板(33)的上侧及上固定板(36)的下侧均安装有与U型板(37)连接的缓冲弹簧(34)。3.根据权利要求1所述的一种用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉，其特征在于：所述支撑板(9)的上方右侧安装有支撑架(12)，所述一号定触点(18)和二号定触点(19)均固定于支撑架(12)连接。4.根据权利要求3所述的一种用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉，其特征在于：所述支撑架(12)的左侧安装有插排(13)，所述一号定触点(18)和二号定触点(19)分别通过导线与插排(13)固接，所述一号加热电阻(16)和二号加热电阻(17)分别通过导线与插排(13)可拆卸连接。5.根据权利要求1所述的一种用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉，其特征在于：所述支撑板(9)的下方设置有活动车(10)，所述加热桶(4)的外侧设置有保温散热箱(1)，所述一号单向模组(2)和活动车(10)均在保温散热箱(1)的内侧。6.一种如权利要求1‑5任意一项所述用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉生产多晶硅锭的方法，其特征在于：该用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉生产多晶硅锭的方法：步骤一、当加热桶(4)内的开始长晶时，加热桶(4)的内部开始出现固液界面，首先将通过一号单向模组(2)控制高度测