一种多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114699851A(43)申请公布日2022.07.05(21)申请号202210276683.8B01J4/00(2006.01)(22)申请日2022.03.21(71)申请人武汉宏澳绿色能源工程有限责任公司地址430000湖北省武汉市江汉区中央商务区泛海国际SOHO城第5幢23层3号(72)发明人谭德军(74)专利代理机构武汉天领众智专利代理事务所(普通合伙)42300专利代理师郭成星(51)Int.Cl.B01D46/00(2022.01)B01D46/42(2006.01)B01D46/76(2022.01)B01D53/00(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图4页(54)发明名称一种多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法(57)摘要本发明公开了一种多晶硅制备用的废气处理装置，包括安装架和固定在安装架顶部的支架，所述支架上固定安装有反应炉，所述反应炉的顶部连通有排气管，所述安装架的顶部从后至前依次固定有热回收罐、过滤罐、净化罐，所述热回收罐的左侧连通有高温引风机，所述高温引风机的进风口与排气管的一端连通，本发明涉及多晶硅制备技术领域。该多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法，通过抖动防堵机构的设置，便于利用高温引风机带动废气流动产生的气流作为动力，进而实现过滤网的往复震动，有效减少杂质堆积在过滤网上，减少工作人员的工作量，通过热量回收机构的设置，便于对废气中的热量进行回收利用，有效减少热量的流失。CN114699851ACN114699851A权利要求书1/2页1.一种多晶硅制备用的废气处理装置，包括安装架(1)和固定在安装架(1)顶部的支架(2)，其特征在于：所述支架(2)上固定安装有反应炉(3)，所述反应炉(3)的顶部连通有排气管(4)，所述安装架(1)的顶部从后至前依次固定有热回收罐(5)、过滤罐(6)、净化罐(7)，所述热回收罐(5)的左侧连通有高温引风机(8)，所述高温引风机(8)的进风口与排气管(4)的一端连通，所述热回收罐(5)与过滤罐(6)之间通过第一导管(9)连通，所述过滤罐(6)与净化罐(7)之间通过第二导管(16)连通，所述过滤罐(6)的内壁滑动有过滤网(10)，所述过滤罐(6)的内部设置有抖动防堵机构(11)，所述热回收罐(5)的内部设置有热量回收机构(12)，所述净化罐(7)上设置有净化排气机构(13)；所述抖动防堵机构(11)包括转动安装在过滤罐(6)内壁两侧之间的轻质转轴(111)，所述轻质转轴(111)的表面固定有轻质拂板(112)，所述第一导管(9)位于过滤罐(6)内部的一端连通有风力集中罩(113)，所述轻质转轴(111)的表面固定有第一皮带轮(114)，所述过滤罐(6)内壁的两侧之间还转动有轻质转杆(115)，所述轻质转杆(115)的表面固定有第二皮带轮(116)，所述第一皮带轮(114)与第二皮带轮(116)的表面之间通过皮带(1111)传动连接，所述轻质转杆(115)的表面固定有凸轮(117)，所述过滤网(10)的后方固定有与凸轮(117)相接触的连接杆(118)，所述过滤网(10)的前方固定有第一磁块(119)，所述过滤网(10)的内壁固定有与第一磁块(119)配合使用的第二磁块(1110)。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述热量回收机构(12)包括设置在热回收罐(5)内部的螺旋导热管(121)，所述螺旋导热管(121)的一端贯穿热回收罐(5)并与高温引风机(8)的出风口连通。3.根据权利要求2所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述螺旋导热管(121)的另一端与第一导管(9)的一端连通，所述热回收罐(5)的内壁固定有保温层(122)。4.根据权利要求3所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述保温层(122)采用环氧树脂材料制成，所述螺旋导热管(121)采用二氧化硅材料制成。5.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述净化排气机构(13)包括固定在净化罐(7)内壁上方和下方的净化板(131)，所述净化板(131)设置有多个。6.根据权利要求5所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：多个所述净化板(131)交错等距设置，所述净化板(131)为缺口圆形状，所述净化罐(7)的左侧连通有排放管(132)。7.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述轻质拂板(112)设置有多个，所述轻质拂板(112)为“亅”形状。8.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述热回收罐(5)表面的上方连通有进水管(14)，所述热回收罐(5)的右侧的下方连通有放水管(15)