一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114753000A(43)申请公布日2022.07.15(21)申请号202210399479.5(22)申请日2022.04.15(71)申请人季华实验室地址528200广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号(72)发明人徐俊吴彩庭刘欣孔倩茵胡承(74)专利代理机构佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙)44377专利代理师陈椅行(51)Int.Cl.C30B25/02(2006.01)C30B25/12(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图5页(54)发明名称一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统(57)摘要本发明涉及外延生长技术领域，具体公开了一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统，其中，该装置包括：装载室，所述装载室内具有与外界隔绝的装载腔；托盘，安装在所述装载腔内；片盒，设置在所述托盘上，用于存放所述衬底；所述装置还包括：顶杆，设置在所述装载室外；磁力件，固定在所述顶杆上，且与所述装载室内的所述托盘磁性相吸；升降机构，安装在所述装载室外，与所述顶杆连接；该装置实现了对装载室内托盘的无接触式驱动，从而保留了装载室的完整性，提高了装载室的密封度。CN114753000ACN114753000A权利要求书1/2页1.一种外延炉的衬底装载装置，用于存放反应前和反应后的衬底，所述装置包括：装载室（1），所述装载室（1）内具有与外界隔绝的装载腔；托盘（2），安装在所述装载腔内；片盒（3），设置在所述托盘（2）上，用于存放所述衬底；其特征在于，所述装置还包括：顶杆（4），设置在所述装载室（1）外；磁力件（5），固定在所述顶杆（4）上，且与所述装载室（1）内的所述托盘（2）磁性相吸；升降机构（6），安装在所述装载室（1）外，与所述顶杆（4）连接；所述顶杆（4）在所述升降机构（6）驱动下进行升降运动以调节所述装载腔内所述托盘（2）的高度。2.根据权利要求1所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述磁力件（5）包括第一强力磁铁（51）或电磁铁（52），所述托盘（2）上具有与所述磁力件（5）相吸的第二强力磁铁（21）。3.根据权利要求2所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，当所述磁力件（5）包括第一强力磁铁（51）时，所述装置还包括：驱动气缸（41），所述驱动气缸（41）安装在所述顶杆（4）上，用于驱动所述第一强力磁铁（51）靠近或远离所述装载室（1）外壁。4.根据权利要求2所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述装置还包括：阻尼器（11），所述阻尼器（11）设置在所述装载室（1）内并位于所述托盘（2）下方。5.根据权利要求1所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述装载室（1）内设有限定所述托盘（2）位移方向的导向槽（12），所述导向槽（12）由自润滑性材料制成。6.根据权利要求5所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述片盒（3）的侧壁设有与所述导向槽（12）滑动连接的第二滑块（31）。7.根据权利要求1所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述磁力件（5）上安装有滑轮（53），所述滑轮（53）与所述装载室（1）外壁滚动连接。8.根据权利要求1所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述磁力件（5）为两个以上。9.根据权利要求1所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述磁力件（5）为U型状，且与所述装载室（1）外壁契合。10.一种外延炉的上下料系统，所述系统包括：装载室（1），所述装载室（1）内具有与外界隔绝的装载腔；传输室（7），与所述装载腔连通，所述传输室（7）内设有用于进行上下料操作的机械手（71）；托盘（2），安装在所述装载腔内；片盒（3），设置在所述托盘（2）上，用于存放衬底；其特征在于，所述系统还包括：顶杆（4），设置在所述装载室（1）外；磁力件（5），固定在所述顶杆（4）上，且与所述装载室（1）内的所述托盘（2）磁性相吸；升降机构（6），安装在所述装载室（1）外，与所述顶杆（4）连接；2CN114753000A权利要求书2/2页控制器，与所述机械手（71）和升降机构（6）电性连接；所述顶杆（4）在所述升降机构（6）驱动下进行升降运动以调节所述装载腔内所述托盘（2）的高度；所述控制器用于根据外延炉的加工进度控制所述升降机构（6）运行以改变所述托盘（2）上的所述片盒（3）的高度，并用于根据所述外延炉的加工进度控制所述机械手（71）伸入所述片盒（3）中抓取或释放所述衬底。3CN114753000A说明书1/9页一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统技术领域[0001]本发明属于外延生长技术领域，特别涉及一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统。背景技术[0002]现有技术中，晶圆生产需要用到外延炉对衬底进行外延