表面硬化处理装置和表面硬化处理方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114829668A(43)申请公布日2022.07.29(21)申请号202080069395.4(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限(22)申请日2020.10.09公司11127专利代理师褚瑶杨庞东成(30)优先权数据2019-1873102019.10.11JP(51)Int.Cl.C23C8/32(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日C23C8/30(2006.01)2022.04.02(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2020/0383152020.10.09(87)PCT国际申请的公布数据WO2021/070938JA2021.04.15(71)申请人帕卡热处理工业株式会社地址日本东京都(72)发明人平冈泰权利要求书2页说明书30页附图14页(54)发明名称表面硬化处理装置和表面硬化处理方法(57)摘要本发明具备：炉内气氛气体浓度检测装置，检测出处理炉内的氢浓度或氨浓度；炉内氮化势运算装置，基于由炉内气氛气体浓度检测装置检测出的氢浓度或氨浓度，运算出处理炉内的氮化势；和气体导入量控制装置，根据运算出的处理炉内的氮化势和目标氮化势，一边将氨分解气体的导入量保持恒定，一边改变两种以上的炉内导入气体中的氨分解气体以外的各炉内导入气体的导入量，由此使处理炉内的氮化势接近上述目标氮化势。CN114829668ACN114829668A权利要求书1/2页1.一种表面硬化处理装置，该表面硬化处理装置将包含氨气和氨分解气体的两种以上的炉内导入气体导入处理炉内，进行气体软氮化处理作为配置于所述处理炉内的被处理品的表面硬化处理，该表面硬化处理装置的特征在于，其具备：炉内气氛气体浓度检测装置，检测出所述处理炉内的氢浓度或氨浓度；炉内氮化势运算装置，基于由所述炉内气氛气体浓度检测装置检测出的氢浓度或氨浓度，运算出所述处理炉内的氮化势；和气体导入量控制装置，根据由所述炉内氮化势运算装置运算出的所述处理炉内的氮化势和目标氮化势，一边将所述氨分解气体的导入量保持恒定，一边改变所述两种以上的炉内导入气体中的所述氨分解气体以外的各炉内导入气体的导入量，由此使所述处理炉内的氮化势接近所述目标氮化势。2.如权利要求1所述的表面硬化处理装置，其特征在于，进一步具备检测出所述处理炉内的氧浓度的炉内氧浓度检测装置，所述炉内氮化势运算装置基于由所述炉内气氛气体浓度检测装置检测出的氢浓度或氨浓度与由所述炉内氧浓度检测装置检测出的氧浓度，运算出所述处理炉内的氮化势。3.如权利要求1或2所述的表面硬化处理装置，其特征在于，在设氨气的炉内导入量为A、氨分解气体的炉内导入量为B、x为规定的常数时，所述气体导入量控制装置利用分配到该各炉内导入气体的比例系数c1、……、cN，将所述两种以上的炉内导入气体中的除了氨气和氨分解气体以外的各炉内导入气体的导入量C1、……、CN控制成C1＝c1×(A+x×B)、……、CN＝cN×(A+x×B)，其中，N为1以上的整数。4.如权利要求3所述的表面硬化装置，其特征在于，所述规定的常数x为0.4～0.6。5.如权利要求4所述的表面硬化装置，其特征在于，所述规定的常数x为0.5。6.如权利要求1～5中任一项所述的表面硬化装置，其特征在于，所述两种以上的炉内导入气体包含二氧化碳。7.如权利要求1～5中任一项所述的表面硬化装置，其特征在于，所述两种以上的炉内导入气体包含一氧化碳气体。8.如权利要求1～5中任一项所述的表面硬化装置，其特征在于，所述两种以上的炉内导入气体包含二氧化碳和氮气。9.如权利要求1～5中任一项所述的表面硬化装置，其特征在于，所述两种以上的炉内导入气体包含一氧化碳气体和氮气。10.一种表面硬化处理方法，该表面硬化处理方法将包含氨气和氨分解气体的两种以上的炉内导入气体导入处理炉内，进行气体软氮化处理作为配置于所述处理炉内的被处理品的表面硬化处理，该表面硬化处理方法的特征在于，其具备：炉内气氛气体浓度检测工序，检测出所述处理炉内的氢浓度或氨浓度；炉内氮化势运算工序，基于由所述炉内气氛气体浓度检测装置检测出的氢浓度或氨浓度，运算出所述处理炉内的氮化势；和气体导入量控制工序，根据由所述炉内氮化势运算装置运算出的所述处理炉内的氮化势和目标氮化势，一边将所述氨分解气体的导入量保持恒定，一边改变所述两种以上的炉2CN114829668A权利要求书2/2页内导入气体中的所述氨分解气体以外的各炉内导入气体的导入量，由此使所述处理炉内的氮化势接近所述目标氮化势。11.一种表面硬化处理装置，该表面硬化处理装置将包含氨气、氨分解气体和渗碳性气体的两种以上的炉内导入气体导入处理炉内，进行气体软氮化处理作为配置于所述处理炉内的被处理品的表面硬化处理，该表