一种用于催化脱脂炉的炉门锁紧结构.pdf
代瑶****zy
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一种用于催化脱脂炉的炉门锁紧结构.pdf
本发明涉及催化脱脂炉的技术领域,公开了一种用于催化脱脂炉的炉门锁紧结构,包括弹簧座组件和手轮座组件,所述弹簧座组件包括底座、设置在底座内的弹簧、钩体、垫块,所述钩体的一端穿过所述弹簧后与所述垫块相连;所述手轮座组件包括与所述钩体相配合的挂钩、螺杆、手轮,所述螺杆的一端与所述挂钩相连,所述螺杆的另一端伸入所述手轮且与所述手轮活动连接,所述手轮旋转后带动所述螺杆沿其长度方向平移以使所述挂钩与所述钩体之间形成分离或闭合或锁紧状态。本发明可以不需要将手轮抬起或放下即可实现对炉门的锁紧密封工作,同时可以有效防止炉门
一种脱脂炉防爆炉门的结构.pdf
本发明公开了一种脱脂炉防爆炉门的结构,包括炉体、炉门前封罩、炉门框架、炉门内封板、炉门后封罩和炉门密封圈,所述炉门框架的表面通过螺钉与炉门前封罩的内部固定连接,并且炉门框架的背面通过螺钉与炉门后封罩的内部固定连接,所述炉门框架内壁的表面固定连接有泄压弹簧,本发明涉及催化脱脂炉技术领域。该脱脂炉防爆炉门的结构,采用的是炉门内部镶嵌泄压弹簧的方式,这样既可以达到泄压防爆的作用,又可以很方便的关闭和开启炉门,也不用担心其他机械结构件的磨损和损耗,大大的提高了整体的实用性,一定程度上降低了使用者的损失,增加了整体
一种炉门锁紧结构及悬浮炉.pdf
本发明提供一种炉门锁紧结构及悬浮炉,锁紧结构包括炉壳体、炉门以及锁紧装置;炉门设置于炉壳体上,并可在炉壳体打开和关闭;锁紧装置可转动设置于炉壳体上,以对炉门进行锁紧;本发明提供的炉门锁紧结构,通过采用楔形面进行压紧,依靠摩擦力进行锁死,能够达到锁紧效果,该结构简单、故障率低、制造成本低,能够解决悬浮炉的炉门锁紧过程中存在的锁紧和密封的双重要求;本发明提供的悬浮炉,通过采用上述炉门锁紧结构,克服了现有悬浮炉采用炉门常用结构的诸多不足,具有锁合可靠、关闭合理的效果。
一种用于扩散炉的炉门结构.pdf
本发明涉及半导体加工设备技术领域,尤其涉及一种用于扩散炉的炉门结构,包括炉门门体和炉门驱动机构,炉门门体包括炉门支撑板、炉门支撑轴、限位转轴、向心关节轴承、铝门、连接板和石英门,炉门驱动机构包括底板、2个滑杆组件、支撑板、无杆气缸、滑轨组件、炉门连接杆、第一气缸、第二气缸、第一气缸连接块、第二气缸连接块、第一限位块、2个第一限位开关、第二限位块和2个第二限位开关;本案炉门门体结构简单,密封性能好;炉门驱动机构占用空间减小,且行程控制精准;当扩散炉采用该炉门结构时,炉门门体的密封性能能够达到工艺要求,炉门本
一种炉体结构及催化脱脂炉.pdf
本发明公开了一种炉体结构,包括:外壁,位于炉体的外侧;内壁,位于炉体的内侧;加热组件,位于内壁和外壁之间密闭的夹层中,用于加热炉体内气体,其中,加热组件包括多个加热单元,加热单元沿着炉体的周向间隔分布在内壁和外壁的夹层中。本发明通过将加热单元设置在内壁和外壁之间密封的夹层中,且沿着炉体的周向间隔分部,能够使得加热单元产生的热量均匀地传递至炉体的内腔中,避免出现局部温度不均的问题,能够有效防止草酸气体出现冷凝结晶的情况,消除了安全隐患,保证整个设备稳定可靠的进行工作。本发明还公开了一种催化脱脂炉,包括内胆和