一种改善显示屏mura的方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115304256A(43)申请公布日2022.11.08(21)申请号202210719236.5(22)申请日2022.06.23(71)申请人信利（惠州）智能显示有限公司地址516029广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号(72)发明人张翀林陈卓吴岩刘伟(74)专利代理机构广州市华学知识产权代理有限公司44245专利代理师唐超(51)Int.Cl.C03B25/00(2006.01)C03B32/00(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称一种改善显示屏mura的方法(57)摘要本发明涉及一种改善显示屏mura的方法，包括：提供高温炉，高温炉内设有包括若干加热管、用于放置LTPS玻璃背板的支撑结构，加热管设置在支撑结构的下方；提供辅热板，将辅热板安装在高温炉中，辅热板所处的高度不高于支撑结构且不低于加热管；将LTPS玻璃背板放置在支撑结构上进行退火处理。本发明在高温炉中增设了辅热板，并对辅热板的材质、位置、尺寸进行了设计和优化，有效地改善了因LTPS玻璃背板退火工艺而导致显示屏出现mura的情况。CN115304256ACN115304256A权利要求书1/1页1.一种改善显示屏mura的方法，所述方法包括：提供高温炉，所述高温炉内设有包括若干加热管、用于放置LTPS玻璃背板的支撑结构，所述加热管设置在所述支撑结构的下方，其特征在于，提供辅热板，将所述辅热板安装在所述高温炉中，所述辅热板所处的高度不高于所述支撑结构且不低于所述加热管；将所述LTPS玻璃背板放置在所述支撑结构上进行退火处理。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述辅热板为陶瓷板或者铝合金板中的任一种。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述辅热板设置在所述加热管与所述支撑结构之间。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述辅热板在所述LTPS玻璃背板上的投影面积覆盖所述LTPS玻璃背板。5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述辅热板在所述LTPS玻璃背板上的投影面积覆盖所述LTPS玻璃背板中与所述支撑结构相对应的区域。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述辅热板嵌套在所述加热管上。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述辅热板在所述加热管上的投影面积覆盖所述加热管，所述辅热板的厚度不小于所述加热管的直径。8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述辅热板嵌套在所述支撑结构上。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述辅热板在所述支撑结构上的投影面积覆盖所述支撑结构，所述辅热板的厚度不大于所述支撑结构的厚度。10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述LTPS玻璃背板进行退火处理，满足：升温起始温度为100‑250℃、升温速率为3‑15°/min、退火温度为280‑500℃。2CN115304256A说明书1/5页一种改善显示屏mura的方法技术领域[0001]本发明涉及低温多晶硅薄膜的高温制备领域，特别是涉及一种改善显示屏mura的方法。背景技术[0002]多晶硅(p‑Si)薄膜的高载流子迁移率远大于非晶硅(a‑Si)，因此常代替非晶硅应用于薄膜晶体管(TFT)的有源层，在集成周边驱动的有源液晶显示(AMLCD)和有源有机发光二极管(AMOLED)中具有非常重要的应用。由于平板显示器的多晶硅薄膜的衬底是难以承受高温工艺的玻璃，因而，在此条件限制下，低温多晶硅(LTPS)技术是业界必然的选择。[0003]由于设备工艺的局限性，在大面积LTPS玻璃背板上制作的LTPSTFT，不同位置的TFT常常在诸如阈值电压、迁移率等电学参数上具有非均匀性，这种非均匀性会转化为显示器件的电流差异和亮度差异，并被人眼所感知，即mura现象。[0004]在实际生产中，几乎每一道工艺制程都会造成mura。目前业内大多数LTPS玻璃背板的制备流程如图1所示，在LTPS玻璃背板的制备过程中需要经过多道高温退火工艺，如去氢、活化和氢化、金属退火等，其中高温炉被广泛地应用于上述高温退火工艺中。高温炉的腔体内设有用于支撑LTPS玻璃背板的支撑结构，LTPS玻璃背板置于支撑结构上进行高温退火处理。支撑结构虽然方便了LTPS玻璃背板的放置和固定，但同时也影响了LTPS玻璃背板的退火程度，即LTPS玻璃背板上与支撑结构接触的区域上的TFT的特性与其他区域上的TFT的特性存在差异，从而容易造成mura。发明内容[0005]针对现有技术中存在的技术问题，本发明提供一种改善显示屏mura的方法，包括：[0006]提供高温炉，所述高温炉内设有包括若干加热管、用于放置LTPS玻璃背板的支撑结构，所述加热管设置在所述支撑结构的下方；[000