微波烧结陶瓷除渣器的制备工艺.pdf
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微波烧结陶瓷除渣器的制备工艺.pdf
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激光刻蚀制备微波介质陶瓷滤波器工艺研究激光刻蚀制备微波介质陶瓷滤波器工艺研究激光刻蚀作为一种高精度、高效率、无损伤性的工艺,被广泛应用于微电子器件的制造。在微波器件领域中,激光刻蚀技术也得到了广泛应用,尤其是在微波介质器件制造中,其特点的高精度和无需刻蚀掩膜的制作方式,使其成为一种非常理想的制备工艺。本文主要介绍激光刻蚀制备微波介质陶瓷滤波器工艺的研究现状和发展趋势。一、激光刻蚀制备微波介质陶瓷滤波器的工艺流程激光刻蚀制备微波介质陶瓷滤波器主要包括以下几个步骤:陶瓷基片准备、激光刻蚀、电极沉积、烧结和测试