一种氪氙气体净化系统、方法、装置及电子设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115364659A(43)申请公布日2022.11.22(21)申请号202210791506.3(22)申请日2022.07.05(71)申请人首钢京唐钢铁联合有限责任公司地址063200河北省唐山市曹妃甸工业区(72)发明人韩正祥李鹏牛子洋王凤河苑桐孙月吕波的吴双赵保石王伟业郑狄赵刘强张晓峰刘洪建(74)专利代理机构北京华沛德权律师事务所11302专利代理师马苗苗(51)Int.Cl.B01D53/86(2006.01)B01D53/72(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图2页(54)发明名称一种氪氙气体净化系统、方法、装置及电子设备(57)摘要本发明公开了一种氪氙气体净化系统、方法、装置及电子设备，包括：第一净化子系统以及第二净化子系统，第一净化子系统包括依次连通的二级氪氙富集塔、氪氙膜压机以及氪氙充瓶架，氪氙充瓶架上安装有多个氪氙气瓶，氪氙气瓶接收从二级氪氙富集塔输出的氪氙气体，第二净化子系统包括第一阀门、减压阀以及第一测压计；第一阀门的第一端与氪氙充瓶架中各氪氙气瓶的入口连通，第一阀门的第二端与减压阀的第一端连通，减压阀的第二端与第二净化子系统中的催化反应炉的输入端连通，第一测压计设置在减压阀与催化反应炉之间的管路上，用于监测减压阀出口的氪氙气体的压力值。该系统能有效地保证得到的氪氙气体处于合格状态，得到较高纯度的氪氙气体。CN115364659ACN115364659A权利要求书1/1页1.一种氪氙气体净化系统，其特征在于，包括：第一净化子系统以及第二净化子系统，所述第一净化子系统包括依次连通的二级氪氙富集塔、氪氙膜压机以及氪氙充瓶架，所述氪氙充瓶架上安装有多个氪氙气瓶，所述氪氙气瓶接收从所述二级氪氙富集塔输出的氪氙气体，所述第二净化子系统包括第一阀门、减压阀以及第一测压计；所述第一阀门的第一端与所述氪氙充瓶架中各氪氙气瓶的入口连通，所述第一阀门的第二端与所述减压阀的第一端连通，所述减压阀的第二端与所述第二净化子系统中的催化反应炉的输入端连通，所述第一测压计设置在所述减压阀与所述催化反应炉之间的管路上，用于监测所述减压阀出口的氪氙气体的压力值。2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二净化子系统还包括：第二阀门，所述第二阀门连通在所述减压阀与所述催化反应炉之间的管路上，用于调节流向所述催化反应炉的氪氙气体的流量。3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二净化子系统还包括：检测装置和控制器，所述检测装置用于检测所述多个氪氙气瓶中的甲烷含量；所述控制器分别与所述检测装置以及所述第一阀门通讯连接，所述控制器用于获取所述甲烷含量，并基于所述甲烷含量控制所述第一阀门的开启。4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述控制器与所述减压阀通讯连接，用于基于所述甲烷含量控制所述减压阀的开启。5.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述第一净化子系统还包括：第二测压计，所述第二测压计设置在所述催化反应炉的输入端，所述控制器分别与所述减压阀、所述第一测压计以及所述第二测压计连接，用于根据所述第一测压计采集到的压力与所述第二测压计采集到压力之间的压力差值，调节所述减压阀的开度。6.一种氪氙气体净化方法，其特征在于，应用于如权利要求1‑5中任一项所述的氪氙气体净化系统中，所述方法包括：检测氪氙充瓶架上的各氪氙气瓶的甲烷含量是否合格；若否，则开启第一阀门，并调节减压阀的开度，使得所述各氪氙气瓶中氪氙气体流向催化反应炉。7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，在调节减压阀的开度之后，还包括：开启第二阀门，使得氪氙气体按照预设流量流向所述催化反应炉。8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述调节减压阀的开度，包括：根据第一测压计采集到的压力与第二测压计采集到压力之间的压力差值，调节减压阀的开度。9.一种氪氙气体净化装置，其特征在于，包括：检测模块，用于检测氪氙充瓶架上的各氪氙气瓶的甲烷含量是否合格；调节模块，用于若否，则开启第一阀门，并调节减压阀的开度，使得所述各氪氙气瓶中氪氙气体流向催化反应炉。10.一种电子设备，其特征在于，包括：存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现权利要求6‑8中任一项所述方法的步骤。2CN115364659A说明书1/7页一种氪氙气体净化系统、方法、装置及电子设备技术领域[0001]本发明涉及气体纯化技术领域，尤其涉及一种氪氙气体净化系统、方法、装置及电子设备。背景技术[0002]氪气能够用于电子工业、电光源工业以及气体激光器和等离子流中，氙气能够应用于半导体、电光源、航天、暗物质研究和电子芯片制造业，氪氙气体可以在液氧中提纯出来，从液氧中获取高纯氪氙气体的装置在氪氙气体制备领域