一种磁场真空热处理装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115394688A(43)申请公布日2022.11.25(21)申请号202211053004.7(22)申请日2022.08.31(71)申请人西安聚能医工科技有限公司地址710026陕西省西安市国际港务区林溪路109号(72)发明人贾庆功李江伟王一帆伊鹏王亚滨张磊马乐杨创利张嘉闫果(74)专利代理机构西安新动力知识产权代理事务所(普通合伙)61245专利代理师杨小亮(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/687(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称一种磁场真空热处理装置(57)摘要本发明公开了一种磁场真空热处理装置，包括支架，所述支架一侧安装有超导磁体，另一侧表面设有导轨，超导磁体内设有热处理炉，热处理炉一端与真空系统连接，另一端为开口状，且位于开口一侧设有悬臂组件；其中，悬臂组件由水平输送部和竖直支撑部组成，竖直支撑部底端与导轨上安装的滑块固定连接，水平输送部上设有用于放置待热处理工件的存储腔和与热处理炉开口相匹配的挡圈；另外改装置还包括热处理炉上的气冷以及悬臂组件上水冷结构以及存储腔内的温控元件。本发明装置具有磁场均匀性高、炉体均温性好、真空度高、冷却速度可控制、悬臂组件变形小、冷却效率高、制作成本低等优点，能够更好地适用于半导体材料热处理。CN115394688ACN115394688A权利要求书1/2页1.一种磁场真空热处理装置，其特征在于，包括支架(1)，所述支架(1)沿纵向一侧安装有用于产生磁场的超导磁体(2)，另一侧表面上铺设有导轨(3)，所述超导磁体(2)内部设置有用于加热的热处理炉(4)，所述热处理炉(4)的一端与真空系统(5)连接，所述热处理炉(4)的另一端为开口状，且位于开口一侧设置有用于装取待热处理工件的悬臂组件(6)；其中，所述悬臂组件(6)由水平输送部(61)和竖直支撑部(62)组成，两者形成结构，所述水平输送部(61)的中心线与热处理炉(4)的中心线重合，所述竖直支撑部(62)的底端与导轨(3)上安装的滑块(7)固定连接，所述水平输送部(61)靠近热处理炉(4)开口一端设置有用于放置待热处理工件的存储腔(611)，所述水平输送部(61)靠近竖直支撑部(62)位置处设置有与热处理炉(4)开口一端相匹配的挡圈(612)，用于密封热处理炉(4)的腔体；所述热处理炉(4)纵向设置于超导磁体(1)中心孔内，且所述热处理炉(4)的轴线与超导磁体(1)中心孔的轴线重合。2.根据权利要求1所述的一种磁场真空热处理装置，其特征在于，所述热处理炉(4)由内向外依次包括石英管层(41)、加热体层(42)、保温层(43)和双层水冷无磁水冷套(44)，所述热处理炉(4)腔室内、靠近真空系统(5)的一端设置有第一反射屏(45)，所述热处理炉(4)另一端、位于石英管层(41)外侧设置有O型密封圈(46)。3.根据权利要求2所述的一种磁场真空热处理装置，其特征在于，所述热处理炉(4)的两端分别设置有冷却工件用的压缩空气进气口(47)和出气口(48)，所述进气口(47)通过管道与输出压缩空气设备相连通，且所述管道上设置有压缩空气流量计。4.根据权利要求1所述的一种磁场真空热处理装置，其特征在于，所述存储腔(611)位于水平输送部(61)前端，所述存储腔(611)的顶部开口，并铰接设置有箱盖，所述存储腔(611)内底部设置有支撑、旋转待热处理工件的旋转盘(613)，所述旋转盘(613)的竖直底端与水平设置的传动杆(614)一端通过锥齿轮啮合传动，所述传动杆(614)另一端穿过挡圈(612)后与固定设置在挡圈(612)外侧的第一电机(615)连接；所述挡圈(612)外侧壁上、传动杆(614)与第一电机(615)的连接处设置有密封件(616)。5.根据权利要求4所述的一种磁场真空热处理装置，其特征在于，所述水平输送部(61)外壁上、位于存储腔(611)处缠绕有水冷盘管(617)，所述水冷盘管(617)的进水口(6171)和出水口(6172)均设置在挡圈(612)外侧，且所述出水口(6172)位于进水口(6171)的下方，所述进水口(6171)处设置有水流量计；所述存储腔(611)内、位于旋转盘(613)的外围设置有测温元件。6.根据权利要求4所述的一种磁场真空热处理装置，其特征在于，所述水平输送部(61)外壁上、位于存储腔(611)与挡圈(612)之间设置有第二反射屏(618)。7.根据权利要求1所述的一种磁场真空热处理装置，其特征在于，所述支架(1)上、位于导轨(3)上方安装有驱动机构(8)，所述驱动机构(8)用于驱动滑块(7)和悬臂组件(6)共同沿导轨(3)方向做直线移动。8.根据权利要求7所述的一种磁场