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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115692196A(43)申请公布日2023.02.03(21)申请号202210846835.3H01L21/677(2006.01)(22)申请日2022.07.19H01L23/544(2006.01)(30)优先权数据2021-1233962021.07.28JP(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人木下盛善(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司11322专利代理师龙淳池兵(51)Int.Cl.H01L21/324(2006.01)H01L21/477(2006.01)H01L21/66(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图12页(54)发明名称热处理装置的控制方法和热处理装置的控制装置(57)摘要本发明提供能够使装载区域中的氧浓度的管理的精度提高的热处理装置的控制方法和热处理装置的控制装置。热处理装置的控制方法为由热处理装置的控制装置进行的控制方法,所述热处理装置包括:加热炉,其能够对被处理体实施热处理;和装载区域,其能够在将保持所述被处理体的晶舟送入所述加热炉之前或者将所述晶舟从所述加热炉送出之后收纳所述晶舟,所述热处理装置的控制方法的特征在于:当接收到将所述被处理体从所述加热炉送出的指示时,检测所述装载区域内的氧浓度,在所述氧浓度为规定的阈值以上时输出警报。CN115692196ACN115692196A权利要求书1/2页1.一种热处理装置的控制方法,其为由热处理装置的控制装置进行的控制方法,所述热处理装置具有:加热炉,其能够对被处理体实施热处理;和装载区域,其能够在将保持所述被处理体的晶舟送入所述加热炉之前或者将所述晶舟从所述加热炉送出之后收纳所述晶舟,所述热处理装置的控制方法的特征在于:当接收到将所述被处理体从所述加热炉送出的指示时,检测所述装载区域内的氧浓度,在所述氧浓度为规定的阈值以上时输出警报。2.如权利要求1所述的热处理装置的控制方法,其特征在于:使所述热处理装置具有的显示操作部显示与所述警报对应的信息和用于指示对所述警报的应对措施的操作按钮。3.如权利要求2所述的热处理装置的控制方法,其特征在于:将所述被处理体送出的指示是基于对所述显示操作部的操作的指示、或者利用基于方案的控制信号进行的指示,其中,所述方案规定了对所述被处理体的处理工序的流程。4.如权利要求3所述的热处理装置的控制方法,其特征在于:在从所述显示操作部接收到重试将所述被处理体送出的指示时,再次检测所述装载区域内的氧浓度,在从所述显示操作部接收到停止将所述被处理体送出的指示时,使所述机构的动作停止。5.如权利要求3所述的热处理装置的控制方法,其特征在于:在从所述显示操作部接收到重试将所述被处理体送出的指示时,使不活泼气体向所述装载区域流入一定时间之后,再次检测所述装载区域内的氧浓度,在从所述显示操作部接收到停止将所述被处理体送出的指示时,使所述机构的动作停止。6.如权利要求3至5中任一项所述的热处理装置的控制方法,其特征在于:基于所述方案,预测进行将所述被处理体从所述加热炉送出的指示的时刻,在预测出的所述时刻之前使不活泼气体流入所述装载区域,使得在预测出的所述时刻,所述装载区域内的氧浓度小于所述规定的阈值。7.如权利要求1所述的热处理装置的控制方法,其特征在于:将所述被处理体送出的指示是基于对与所述控制装置连接的操作单元的操作的指示。8.如权利要求7所述的热处理装置的控制方法,其特征在于:使所述操作单元具有的显示部显示与所述警报对应的信息和用于指示对所述警报的应对措施的操作按钮,所述操作按钮包括用于使所述机构的动作停止的操作按钮。9.如权利要求1至8中任一项所述的热处理装置的控制方法,其特征在于:当接收到将所述被处理体送出的指示时,判断所述被处理体是否是被设定为容易受到所述装载区域内的氧浓度的影响的种类的被处理体,检测所述装载区域内的氧浓度。10.一种热处理装置的控制装置,所述热处理装置具有:加热炉,其能够对被处理体实施热处理;和装载区域,其能够在将保持所述被处理体的晶舟送入所述加热炉之前或者将2CN115692196A权利要求书2/2页所述晶舟从所述加热炉送出之后收纳所述晶舟,所述热处理装置的控制装置的特征在于,包括:氧浓度检测部,其用于当接收到将所述被处理体从所述加热炉送出的指示时,检测所述装载区域内的氧浓度;和警报输出部,其用于在所述氧浓度为规定的阈值以上时输出警报。3CN115692196A说明书1/10页热处理装置的控制方法和热处理装置的控制装置技术领域[0001]本发明涉及热处理装置的控制方法和热处理装置的控制装置。背景技术[0002]一直以来,已知在对半导体晶片进行热处理的热处理