颗粒物去除装置、外延设备及其工作方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115961344A(43)申请公布日2023.04.14(21)申请号202211584980.5(22)申请日2022.12.09(71)申请人西安奕斯伟材料科技有限公司地址710000陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司(72)发明人王迪王力刘宝阳王雄(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243专利代理师张博(51)Int.Cl.C30B25/08(2006.01)C30B25/16(2006.01)C23C16/44(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图1页(54)发明名称颗粒物去除装置、外延设备及其工作方法(57)摘要本发明提供了一种颗粒物去除装置、外延设备及其工作方法，属于半导体制造技术领域。颗粒物去除装置，用于去除外延炉内的颗粒物，所述外延炉包括炉体，所述炉体包括上部石英罩和下部石英罩，所述上部石英罩与所述下部石英罩扣合形成所述炉体的内腔，所述颗粒物去除装置包括：刻蚀气体提供模块，用于向所述炉体内通入刻蚀气体；温度测量模块，用于监测所述上部石英罩的温度，生成温度数据，并将所述温度数据发送给控制模块；所述控制模块，用于接收所述温度数据，并根据所述温度数据向降温模块发送工作指令；所述降温模块，用于接收所述工作指令，根据所述工作指令对所述上部石英罩进行降温。本发明的技术方案能够有效去除外延炉中的颗粒。CN115961344ACN115961344A权利要求书1/2页1.一种颗粒物去除装置，用于去除外延炉内的颗粒物，所述外延炉包括炉体，所述炉体包括上部石英罩和下部石英罩，所述上部石英罩与所述下部石英罩扣合形成所述炉体的内腔，其特征在于，所述颗粒物去除装置包括：刻蚀气体提供模块，用于向所述炉体内通入刻蚀气体；温度测量模块，用于监测所述上部石英罩的温度，生成温度数据，并将所述温度数据发送给控制模块；所述控制模块，用于接收所述温度数据，并根据所述温度数据向降温模块发送工作指令；所述降温模块，用于接收所述工作指令，根据所述工作指令对所述上部石英罩进行降温。2.根据权利要求1所述的颗粒物去除装置，其特征在于，所述降温模块包括：吹风组件，用于向所述上部石英罩吹风，根据所述工作指令控制风速。3.根据权利要求2所述的颗粒物去除装置，其特征在于，所述控制模块具体用于在所述温度数据表明所述上部石英罩的温度低于第一预设温度时，发出第一工作指令，指示降低所述吹风组件的风速；在所述温度数据表明所述上部石英罩的温度高于第二预设温度时，发出第二工作指令，指示提高所述吹风组件的风速，所述第一预设温度低于所述第二预设温度。4.根据权利要求3所述的颗粒物去除装置，其特征在于，所述控制模块还用于在所述温度数据表明所述上部石英罩的温度不低于第一预设温度且不高于第二预设温度时，发出第三工作指令，指示所述吹风组件的风速保持不变。5.根据权利要求3或4所述的颗粒物去除装置，其特征在于，所述第一预设温度为550℃；所述第二预设温度为590℃。6.一种外延设备，其特征在于，包括外延炉和如权利要求1‑5中任一项所述的颗粒物去除装置。7.一种外延设备的工作方法，其特征在于，应用于如权利要求6所述的外延设备，包括：通过刻蚀气体提供模块向所述炉体内通入刻蚀气体；通过温度测量模块监测所述上部石英罩的温度，生成温度数据，并将所述温度数据发送给控制模块；通过所述控制模块接收所述温度数据，并根据所述温度数据向降温模块发送工作指令；通过所述降温模块接收所述工作指令，根据所述工作指令对所述上部石英罩进行降温。8.根据权利要求7所述的外延设备的工作方法，其特征在于，所述外延设备包括如权利要求2所述的颗粒物去除装置，所述方法包括：通过所述吹风组件向所述上部石英罩吹风，并根据所述工作指令控制风速。9.根据权利要求8所述的外延设备的工作方法，其特征在于，根据所述温度数据向降温模块发送工作指令包括：在所述温度数据表明所述上部石英罩的温度低于第一预设温度时，所述控制模块发出2CN115961344A权利要求书2/2页第一工作指令，指示降低所述吹风组件的风速；在所述温度数据表明所述上部石英罩的温度高于第二预设温度时，所述控制模块发出第二工作指令，指示提高所述吹风组件的风速，所述第一预设温度低于所述第二预设温度。10.根据权利要求8所述的外延设备的工作方法，其特征在于，根据所述温度数据向降温模块发送工作指令还包括：在所述温度数据表明所述上部石英罩的温度不低于第一预设温度且不高于第二预设温度时，所述控制模块发出第三工作指令，指示所述吹风组件的风速保持不变。3CN115961344A说明书1/6页颗粒物去除装置、外延设备及其工作方法技术领域[