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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104338416104338416A(43)申请公布日2015.02.11(21)申请号201310348204.X(22)申请日2013.08.09(71)申请人天津骏邦环保技术开发有限公司地址300451天津市滨海新区塘沽海安里15号(72)发明人蔡林辰(51)Int.Cl.B01D53/18(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图1页附图1页(54)发明名称一种废气处理净化装置(57)摘要一种废气处理净化装置,包括:依次连接的一级净化塔、二级净化塔、三级净化塔,所述一级净化塔的出气口连接二级净化塔的进气口,所述二级净化塔的出气口连接三级净化塔的进气口,所述三级净化塔的出气口连接废水循环装置,所述一级净化塔、二级净化塔和三级净化塔底部的出液口均连接净化器水箱;所述三级净化塔内设置有耐腐蚀循环水泵、喷淋装置和过滤填料装置。CN104338416ACN104386ACN104338416A权利要求书1/1页1.一种废气处理净化装置,其特征在于,包括:依次连接的一级净化塔、二级净化塔、三级净化塔,所述一级净化塔的出气口连接二级净化塔的进气口,所述二级净化塔的出气口连接三级净化塔的进气口,所述三级净化塔的出气口连接废水循环装置,所述第一尾气吸收罐、第二尾气吸收罐和第三尾气吸收罐底部的出液口均连接净化器水箱;所述三级净化塔内设置有耐腐蚀循环水泵、喷淋装置和过滤填料装置。2CN104338416A说明书1/2页一种废气处理净化装置技术领域[0001]本发明涉及一种废气处理净化装置。背景技术[0002]随着光伏产业的繁荣发展,越来越多的中小型企业开始对晶体硅材料进行加工与处理,而大多数的企业在对硅料进行腐蚀时大多数的都是采用硝酸、氢氟酸和盐酸的混合液进行产品腐蚀,从而就会产生主要成份为氮氧化物、少量的氟化氢气体、少量的氯化氢气体和氯氢硅烷的挥发性气体,并且所产生的酸性气体的初始浓度都在150mg/m3以上。而根据《大气污染物综合排放标准》的要求,当排气筒高度为30m时,二级排放标准NOx的最高允许排放浓度为240mg/m3,最高允许排放速率为4.4kg/h;二级排放标准HF的最高允许排放浓度为9mg/m3,最高允许排放速率为0.59kg/h;二级排放标准HCL的最高允许排放浓度为100mg/m3,最高允许排放速率为1.4kg/h,因此,处理净化后废气的排放浓度分别为:NOX<240mg/m3、HF<9mg/m3、HCL<100mg/m3。[0003]目前,为了达到这一标准要求,市场上对此类酸性气体的处理方式是经过一级湿式净化处理或其他简单的废气处理方式,但是,由于在生产过程中所产生的大量的氮氧化物、氟化氢气体以及氯化氢气体的特征表现为爆发性、间歇性的,而且浓度较高,所以简单的废气处理方式无法真正的对废气进行完善全面的处理。[0004]一般的化工企业对与尾气的处理只采用一个综合的尾气吸收罐,这样对工业尾气的吸收处理就不够充分彻底,也达不到节能环保的要求。。发明内容[0005]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种废气处理净化装置,其特征在于,包括:依次连接的一级净化塔、二级净化塔、三级净化塔,所述一级净化塔的出气口连接二级净化塔的进气口,所述二级净化塔的出气口连接三级净化塔的进气口,所述三级净化塔的出气口连接废水循环装置,所述一级净化塔、二级净化塔和三级净化塔底部的出液口均连接净化器水箱;所述三级净化塔内设置有耐腐蚀循环水泵、喷淋装置和过滤填料装置。[0006]本发明的有益效果是:设计简单,结构紧凑,生产成本低,容易操作,采用三个尾气吸收罐对工业尾气进行充分有效的吸收,减少了化工生产过程中尾气的排放,节能又环保。附图说明[0007]下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。[0008]图1是本发明的结构示意图。[0009]附图标记说明[0010]1、一级净化塔,2、二级净化塔,3、三级净化塔,4、净化器水箱,41、净化水淋洒装置,42、淋洒孔,5、废水循环装置,51、溢水口,52、溢水阀。3CN104338416A说明书2/2页具体实施方式[0011]现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本发明的基本结构,因此其仅显示与本发明有关的构成。[0012]如图1所示的:一种废气处理净化装置,其特征在于,包括:依次连接的一级净化塔、二级净化塔、三级净化塔,所述一级净化塔的出气口连接二级净化塔的进气口,所述二级净化塔的出气口连接三级净化塔的进气口,所述三级净化塔的出气口连接废水循环装置,所述第一尾气吸收罐、第二尾气吸收罐和第三尾气吸收罐底部的出液口均连接净化器水箱;所述三