Cu掺杂p型ZnO薄膜的制备方法.pdf
一条****彩妍
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Cu掺杂p型ZnO薄膜的制备方法.pdf
本发明提供一种Cu掺杂p型ZnO薄膜的制备方法,包括如下步骤:步骤1:采用射频磁控溅射方法,将纯度为4N以上的ZnO和高纯Cu粉末混合压制成所需靶材;步骤2:在氩气和氧气混合气体环境中将靶材溅射沉积在衬底之上形成薄膜;步骤3:将形成薄膜的衬底进行退火处理,得到Cu掺杂的p型ZnO薄膜材料。本发明可以解决IB族元素难于实现p型ZnO材料制备的难题。
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Co与Cu掺杂ZnO薄膜的制备与光致发光研究摘要:本文采用溶胶-凝胶法制备了Co与Cu掺杂的ZnO薄膜,并利用光致发光技术研究了不同掺杂条件下ZnO薄膜的光致发光性质。研究发现,Co与Cu掺杂均能够提高ZnO薄膜的光致发光强度,其中以Co掺杂效果更为显著。此外,本研究还分析了掺杂浓度对光致发光性质的影响,结果显示随着掺杂浓度的增加,光致发光强度呈现先增加后降低的趋势。本研究结果有望为ZnO薄膜的光电器件研究提供参考。关键词:溶胶-凝胶法;ZnO薄膜;Co掺杂;Cu掺杂;光致发光Introduction:Z