薄膜太阳能电池制造系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103022243A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN103022243A(43)申请公布日2013.04.03(21)申请号201210032641.6(22)申请日2012.02.13(30)优先权数据1001347782011.09.27TW(71)申请人绿阳光电股份有限公司地址中国台湾屏东县(72)发明人李适维蔡耀仓林明弘(74)专利代理机构北京市浩天知识产权代理事务所11276代理人刘云贵(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书44页页附图附图77页(54)发明名称薄膜太阳能电池制造系统(57)摘要本发明公开了一种薄膜太阳能电池制造系统，包括炉腔；托座，设置在炉腔内；具有第一前置层的硬基板，第一前置层包括第一IB族与IIIA族，及具有第二前置层的可挠式基板，第二前置层包括第二IB族与IIIA族；气体控制器，用来通入反应气体至炉腔内：以及加热器，用来提高炉腔内的温度，以使反应气体与第一前置层与第二前置层反应以形成黄铜矿结构，用来同时制作硬基板太阳能电池与可挠式基板太阳能电池，或提高可挠式基板太阳能电池的产能。CN10324ACN103022243A权利要求书1/2页1.一种薄膜太阳能电池的制造系统，其特征在于，所述制造系统包括：炉腔；托座，设置在所述炉腔内；具有第一前置层的硬基板，所述第一前置层包括第一IB族与IIIA族；具有第二前置层的可挠式基板，所述第二前置层包括第二IB族与IIIA族；气体控制器，所述气体控制器用来通入反应气体至所述炉腔内；以及加热器，所述加热器用来提高所述炉腔内的温度，以使所述反应气体与所述第一前置层与所述第二前置层反应以形成黄铜矿结构。2.如权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统进一步包括固定元件以固定所述硬基板与所述可挠性基板，所述固定元件包括：主体，所述主体用来承载所述硬基板与所述可挠式基板；以及卡勾部，设置在所述主体的一个侧边，所述卡勾部用来止挡在所述硬基板与所述可挠式基板所形成的组合的一个端面，以防止所述硬基板与所述可挠式基板分离。3.如权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统进一步包括固定元件以固定所述硬基板与所述可挠性基板，所述固定元件包括：主体，所述主体用来承载所述硬基板与所述可挠式基板；以及两个卡勾部，分别设置在所述主体的两个侧边，所述两个卡勾部用来止挡在所述硬基板与所述可挠式基板所形成的组合的两个端面，以防止所述硬基板与所述可挠式基板分离。4.如权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述硬基板与所述可挠式基板以各自底板相抵靠的方式固定而形成组合。5.如权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述可挠式基板部分折曲以挂扣在所述硬基板而形成组合，并且所述托座用来承载所述组合。6.如权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述第一IB族与所述第二IB族包括铜，及所述第一IIIA族与所述第二IIIA族包括铟、镓或其组合。7.如权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述加热器用来将所述炉腔内的温度提高至400℃～550℃。8.如权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述可挠性基板为金属箔片。9.如权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述反应气体为硒化氢或硫化氢。10.一种薄膜太阳能电池的制造系统，其特征在于，制造系统包括：炉腔；托座，设置在所述炉腔内；支撑件；两个具有前置层的可挠式金属基板，所述前置层包括IB族与IIIA族，并且所述多个可挠式金属基板分别以其底板抵靠在所述支撑件的两个端面而形成组合；气体控制器，所述气体控制器用来通入反应气体至所述炉腔内：以及加热器，所述加热器用来提高所述炉腔内的温度，以使所述反应气体与所述前置层反应以形成黄铜矿结构。2CN103022243A权利要求书2/2页11.如权利要求10所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统进一步包括固定元件以固定所述多个可挠性基板，所述固定元件进一步包括：主体，所述主体用来承载所述多个可挠式金属基板与所述支撑件；以及两个卡勾部，分别设置在所述主体的两个侧边，所述两个卡勾部用来止挡在所述多个可挠式金属基板与所述支撑件所形成的所述组合的两个端面，以防止所述多个可挠式金属基板分离。12.如权利要求10所述的制造系统，其特征在于，所述可挠式金属基板部分折曲以挂扣在所述支撑件而形成所述组合，并且所述托座用来承载所述组合。13.如权利要求10所述的制造系统，其特征在于，所述加热器用来将所述炉腔内的温度提高至400℃～550℃。14.如权利要求10所述的制造系统，其特征在于，所述IB族包括铜，并且所述IIIA族包括铟、镓或其组合。15.如权利要求10所述的制造系统，其特征在于，所述反应气体为硒化氢或硫化氢。3