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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104335079104335079A(43)申请公布日2015.02.04(21)申请号201380027001.9(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专(22)申请日2013.06.27利商标事务所11038代理人夏正东(30)优先权数据(51)Int.Cl.13/537,1772012.06.29USG02B1/11(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日B32B7/02(2006.01)2014.11.24G03F7/004(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2013/0481802013.06.27(87)PCT国际申请的公布数据WO2014/004828EN2014.01.03(71)申请人国际商业机器公司地址美国纽约(72)发明人陈光荣S·霍尔梅斯黄武松R·邝惠玲刘森权利要求书8页权利要求书8页说明书21页说明书21页(54)发明名称可显影底部抗反射涂层组合物以及使用其的图案形成方法(57)摘要该本发明涉及可显影底部抗反射涂层(BARC)组合物以及使用该BARC组合物形成图案的方法。该BARC组合物包括第一聚合物,其具有第一羧酸组成部分、含羟基的脂环族组成部分、以及第一发色团组成部分;第二聚合物,其包含第二羧酸组成部分、含羟基的无环状组成部分、以及第二发色团组成部分;交联剂;以及辐射敏感的酸产生剂。第一以及第二发色团组成部分各自吸收光波长为100nm-400nm。在图案形成方法中,BARC组合物BARC层上形成光致抗蚀剂层。在曝光以后,光致抗蚀剂层以及该BARC层未曝光区域通过显影剂有选择地被除去以在光致抗蚀剂层中形成图案化结构。该BARC组合物以及该图案形成方法尤其对注入级别有用。CN104335079ACN1043579ACN104335079A权利要求书1/8页1.底部抗反射涂层(BARC)组合物,其包含:第一聚合物,所述第一聚合物包含第一羧酸组成部分、含羟基的脂环族组成部分、以及第一发色团组成部分,该第一发色团组成部分吸收波长范围为100nm至400nm的光;第二聚合物,所述第二聚合物包含第二羧酸组成部分、含羟基的无环状组成部分、以及第二发色团组成部分,该第二发色团组成部分吸收波长范围为100nm至400nm的光;交联剂;以及辐射敏感的酸产生剂。2.权利要求1的BARC组合物,其中该第一羧酸组成部分以及该第二羧酸组成部分各自独立地选自丙烯酸单体单元、甲基丙烯酸单体单元、4-乙烯基苯甲酸单体单元、丙烯酸2-羧基乙酯单体单元、甲基丙烯酸2-羧基乙酯单体单元、单-2-(甲基丙烯酰氧基)乙基丁二酸酯单体单元、以及单-2-(丙烯酰氧基)乙基丁二酸酯单体单元。3.权利要求1的BARC组合物,其中该含羟基的脂环族组成部分包括金刚烷基。4.权利要求3的BARC组合物,其中该含羟基的脂环族组成部分是衍生自选自以下结构的单体的单体单元:其中p表示1到30的正整数。5.权利要求1的BARC组合物,其中该含羟基的无环状组成部分是衍生自选自以下结构的单体的单体单元:2CN104335079A权利要求书2/8页其中s表示1到30的正整数;R是具有1到30个总碳原子数的饱和碳链。6.权利要求1的BARC组合物,其中该第一发色团组成部分以及第二发色团组成部分各自包括芳基。7.权利要求6的BARC料组合物,其中该第一发色团组成部分以及第二发色团组成部分各自独立地是衍生自选自以下结构的单体的单体单元:3CN104335079A权利要求书3/8页4CN104335079A权利要求书4/8页5CN104335079A权利要求书5/8页6CN104335079A权利要求书6/8页其中m表示1到30的正整数;n表示0到30的整数。8.权利要求1的BARC组合物,其中该交联剂是甘脲化合物。9.权利要求1的BARC组合物,其中该辐射敏感的酸产生剂包含鎓盐、琥珀酰亚胺衍生物、重氮化合物、和硝基苄基化合物中的至少一种。10.权利要求1的BARC组合物,进一步包含溶剂、猝灭剂、以及表面活性剂中的至少一种。11.权利要求10的BARC组合物,其中该溶剂可以包含醚、醇、二醇醚、芳烃、酮、以及酯中的至少一种。12.权利要求11的BARC组合物,其中该BARC组合物包含:约0.1至约29wt.%第一聚合物;约0.1至约29wt.%第二聚合物;约0.1至约30wt.%交联剂,基于该第一和第二聚合物的总重量;约0.1至约30wt.%辐射敏感的酸产生剂,基于该第一和第二聚合物的总重量;以及约70至约99.9wt.%溶剂。13.权利要求12的BARC组合物,其中第一聚合物的重量百分数高于第二聚合物的重量百分数。14.在基材上形成图