激光功率的校准方法和装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105865621A(43)申请公布日2016.08.17(21)申请号201610167624.1(22)申请日2016.03.22(71)申请人大族激光科技产业集团股份有限公司地址518000广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号大族激光大厦(72)发明人王志鹏高云峰(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人李文渊(51)Int.Cl.G01J1/10(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图8页(54)发明名称激光功率的校准方法和装置(57)摘要本发明涉及一种激光功率的校准方法和装置，所述方法包括：分别根据多个不同的激光功率输入值生成激光；检测每个激光功率输入值对应的所述激光的标准功率值和待校准功率值；根据检测得到的标准功率值和待校准功率值生成标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系；根据所述非线性对应关系对待校准激光功率进行校准。本发明提供的激光功率的校准方法和装置，在建立标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系后，采用非线性对应关系对待校准激光功率进行校准，可以减小待校准激光功率与实际激光功率的误差，提高激光功率检测的准确性。CN105865621ACN105865621A权利要求书1/2页1.一种激光功率的校准方法，所述方法包括：分别根据多个不同的激光功率输入值生成激光；检测每个激光功率输入值对应的所述激光的标准功率值和待校准功率值；根据检测得到的标准功率值和待校准功率值生成标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系；根据所述非线性对应关系对待校准激光功率进行校准。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据检测得到的标准功率值和待校准功率值生成标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系，包括：对检测得到的标准功率值和待校准功率值进行多项式拟合；通过所述多项式拟合建立标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述通过所述多项式拟合建立标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系，包括：获取通过多项式拟合生成的多项式参数；将所述多项式参数输入到待校准功率探头的控制程序，由所述控制程序根据所述多项式参数生成标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述非线性对应关系对待校准激光功率进行校准，包括：对输出激光进行检测，获取所述输出激光的待校准功率值；根据所述非线性对应关系计算所述待校准功率值对应的标准功率值并输出。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检测每个激光功率输入值对应的所述激光的标准功率值和待校准功率值，包括：通过标准功率计检测每个激光功率输入值对应的所述激光的标准功率值，并通过待校准功率探头检测每个激光功率输入值对应的所述激光的待校准功率值；所述根据检测得到的标准功率值和待校准功率值生成标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系，包括：通过Excel程序在绘制散点图表时的趋势线添加功能，对所述标准功率值和所述待校准功率值进行多项式拟合，根据多项式拟合结果生成标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系。6.一种激光功率的校准装置，其特征在于，所述装置包括：激光生成模块，用于分别根据多个不同的激光功率输入值生成激光；功率值检测模块，用于检测每个激光功率输入值对应的所述激光的标准功率值和待校准功率值；对应关系生成模块，用于根据检测得到的标准功率值和待校准功率值生成标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系；激光功率校准模块，用于根据所述非线性对应关系对待校准激光功率进行校准。7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述对应关系生成模块包括：多项式拟合模块，用于对检测得到的标准功率值和待校准功率值进行多项式拟合；对应关系建立模块，用于通过所述多项式拟合建立标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系。2CN105865621A权利要求书2/2页8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述对应关系建立模块包括：多项式参数获取模块，用于获取通过多项式拟合生成的多项式参数；多项式参数输入模块，用于将所述多项式参数输入到待校准功率探头的控制程序，由所述控制程序根据所述多项式参数生成标准激光功率与待校准激光功率的非线性对应关系。9.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述激光功率校准模块包括：激光功率检测模块，用于对输出激光进行检测，获取所述输出激光的待校准功率值；功率值计算模块，用于根据所述非线性对应关系计算所述待校准功率值对应的标准功率值并输出。10.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述功率值检测模块还用于通过标准功率计检测每个激光功率输入值对应的所述激光的标准功率值，并