边缘三面检测装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115753828A(43)申请公布日2023.03.07(21)申请号202310026681.8(22)申请日2023.01.09(71)申请人苏州高视半导体技术有限公司地址215000江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢9层903室、904室(72)发明人请求不公布姓名(74)专利代理机构北京远大卓悦知识产权代理有限公司11369专利代理师徐晨(51)Int.Cl.G01N21/95(2006.01)G01N21/958(2006.01)G01N21/01(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图5页(54)发明名称边缘三面检测装置(57)摘要本发明的实施例公开了一种边缘三面检测装置，包括：光学系统及保持机构，所述光学系统用于对待测产品的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品具有彼此相背离的第一表面、第二表面及侧表面，所述第一表面及所述第二表面在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面及第二边缘面，所述侧表面连接在所述第一边缘面与第二边缘面之间，所述光学系统包括：第一光路、第二光路及第三光路，其中，三条光路的光程相等。根据本发明，其仅使用一套检测装置，即可在保证成像清晰度的情况下完成对产品的边缘区域三个表面同步进行表面缺陷检测。CN115753828ACN115753828A权利要求书1/2页1.一种边缘三面检测装置，其特征在于，包括光学系统（1）及保持机构（2），所述光学系统（1）用于对待测产品（5）的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品（5）具有彼此相背离的第一表面（51）、第二表面（52）及侧表面（53），所述第一表面（51）及所述第二表面（52）在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面（511）及第二边缘面（521），所述侧表面（53）连接在所述第一边缘面（511）与第二边缘面（521）之间，所述光学系统（1）包括：第一光路（11），其具有第一接收端及第一出射端，所述第一接收端被定位为接收来自所述第一边缘面（511）的第一光线并将所述第一光线传送到所述第一出射端；第二光路（12），其具有第二接收端及第二出射端，所述第二接收端被定位为接收来自所述第二边缘面（521）的第二光线并将所述第二光线传送到所述第二出射端；以及第三光路（13），其具有第三接收端及第三出射端，所述第三接收端被定位为接收来自所述侧表面（53）的第三光线并将所述第三光线传送到所述第三出射端；其中，所述第一出射端、所述第二出射端及所述第三出射端终止于一采集平面，定义：第一接收端与第一出射端间的光程为第一光程；第二接收端与第二出射端间的光程为第二光程；第三接收端与第三出射端间的光程为第三光程；则所述保持机构（2）用于将所述第一光路（11）、第二光路（12）及第三光路（13）保持在预设的位置关系，以致所述第一光程、第二光程及第三光程三者光程相等。2.如权利要求1所述的边缘三面检测装置，其特征在于，所述光学系统（1）具有置物平面、第一方向、第二方向及第三方向；所述第一方向与所述置物平面相垂直，所述第一方向、第二方向及第三方向两两相互垂直；其中，所述置物平面穿过所述待测产品（5）的中心（54），以致所述第一边缘面（511）距所述置物平面的距离与所述第二边缘面（521）距所述置物平面的距离相等。3.如权利要求2所述的边缘三面检测装置，其特征在于，所述第一光路（11）包括第一上偏转面（1111）、第二上偏转面（1121）及第三上偏转面（1131），所述第一上偏转面（1111）、第二上偏转面（1121）及第三上偏转面（1131）沿着所述第一光线的传送路径依次布置；所述第二光路（12）包括第一下偏转面（1211）、第二下偏转面（1221）及第三下偏转面（1231），所述第一下偏转面（1211）、第二下偏转面（1221）及第三下偏转面（1231）沿着所述第二光线的传送路径依次布置；所述第三光路（13）包括第一中偏转面（1311）、第二中偏转面（1321）、第三中偏转面（1331）及第四中偏转面（1341），所述第一中偏转面（1311）、第二中偏转面（1321）、第三中偏转面（1331）及第四中偏转面（1341）沿着所述第三光线的传送路径依次布置。4.如权利要求3所述的边缘三面检测装置，其特征在于，所述保持机构（2）包括：中安装板（23）；沿所述第一方向布置于所述中安装板（23）两侧的上安装板（21）及下安装板（22）；其中，所述第三上偏转面（1131）、第三下偏转面（1231）、第一中偏转面（1311）及第四中2CN115753828A权利要求书2/2页偏转面（1341）安装至所述中安装板（23）；所述第一上偏转面（1111）及第二上偏转面（1121）安装至所述上安装板（21）；所述第一下偏转面（1211）及第