一种超快激光熔接透明硬脆材料和金属的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114261100A(43)申请公布日2022.04.01(21)申请号202111556814.X(22)申请日2021.12.17(71)申请人北京工业大学地址100124北京市朝阳区平乐园100号申请人中国航空制造技术研究院(72)发明人杨胶溪刘哲张伟(74)专利代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司11203代理人刘萍(51)Int.Cl.B29C65/16(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种超快激光熔接透明硬脆材料和金属的方法(57)摘要本发明公开了一种超快激光熔接透明硬脆材料和金属的方法，熔接过程中同时施加两种不同波长的超快激光束能量。熔接时透明硬脆材料紧密贴合在金属材料上方，调整激光束(λ1)焦点位于金属‑非金属界面上方，调整激光束(λ2)焦点位于金属‑非金属界面下方，λ1激光束在前，λ2激光束在后，两光束相距一定距离且以相同路径熔接，本发明可在减小热效应的前提下增加熔接过程中透明材料的吸收率，同时不影响金属材料的加工质量，增大透明材料和金属的融合程度，获得更高强度的焊缝。CN114261100ACN114261100A权利要求书1/1页1.一种超快激光熔接透明硬脆材料和金属的方法，其特征在于，熔接过程中同时施加两种不同波长的超快激光束能量；熔接时透明硬脆材料紧密贴合在金属材料上方，调整300nm‑600nm波长的λ1激光束焦点位于金属‑非金属界面上方范围d1为0.1‑0.6mm，调整800nm‑1100nm波长的λ2激光束焦点位于金属‑非金属界面下方范围d2为0.1‑1.0mm，λ1激光束在前，λ2激光束在后，两激光束入射均向着前进方向倾斜或者不倾斜，λ1激光束入射角度与垂直法线夹角θ1范围为0‑10°，λ2激光束入射角度与垂直法线夹角θ2范围为0‑10°，两光束相距0.1‑10mm且以相同路径熔接，熔接工艺参数：激光功率1W‑100W、脉宽240fs‑10ps、频率1kHz‑1MHz、场镜焦距30mm‑200mm、扫描速度10mm/s‑100mm/s，扫描路径间距10μm‑500μm。2CN114261100A说明书1/3页一种超快激光熔接透明硬脆材料和金属的方法技术领域[0001]本发明涉及激光加工领域，特别涉及一种使用不同波长超快激光对透明材料和金属进行熔接的方法。背景技术[0002]玻璃等透明材料具有强度高、比重小、抗震强度和化学稳定性高、光学和电磁波性能优良等特点，目前广泛应用于航空航天、武器装备、微电子以及生物医学等高端技术领域。然而玻璃材料具有低塑性、易断裂、表面容易破坏等特性，使传统的加工方法如机械连接、胶粘、阳极键合等对玻璃材料进行加工时遇到障碍，尤其针对玻璃材料和金属热膨胀系数差异大的问题，很难得到满足要求的高质量的加工件。[0003]超快激光具有短脉宽、高峰值、高重频等特性，在透明材料加工领域已经得到广泛的认可与使用。相比于长脉冲，超快激光脉冲宽度小于热量传导至晶格的时间，在极短的时间内达到极高的温度，同时可以有效避免热影响区的产生。基于非线性吸收的超快激光熔接技术有望大幅度提高透明与金属的连接性能，利用飞秒激光超高的峰值功率密度可以诱导出极高的局部温度，从而将高熔点的透明材料直接熔化，实现材料间的局部熔合。超快激光微熔接技术在熔接方面具有独特的优势，以非接触式的方式实现微米甚至是纳米量级尺度的空间选择性熔接，降低结构的复杂度，增加可靠性，同时避免较大的热畸变和热应力的产生。现有超快激光熔接方法均使用同一波长的激光束，无法使玻璃材料和金属同时达到较好的熔接效果，熔接过程中出现玻璃材料熔化不充分或者发生金属的过烧反应的现象。[0004]中国专利提出了利用多激光合束进行玻璃材料的熔接，该方法可对不满足光学接触条件的两种材料进行熔接，提高了熔接效率便于实现工程化应用，但是存在以下问题：(1)激光合束后熔接时焊缝处能量过高，导致材料瞬间温度过高，产生过大的热应力造成玻璃材料破裂，因此高能量的激光束无法应用于此方式；(2)该方法只能实现间隙最大在12μm左右的两种同种材料的熔接，对于更大间隙的焊缝无法进行熔接。(3)激光合束熔接所使用的激光束分别为超快激光和连续激光，连续激光加工硬脆材料极易产生脆裂，热效应仍然较高。发明内容[0005]针对现有技术中存在的不足，本发明提供了一种超快激光熔接透明硬脆材料和金属的方法，利用不同材料对不同波长的吸收率和加工质量的不同，可以有效提高焊缝质量以及熔接效率，实现大间隙的透明材料和金属的牢固熔接。同时两种波长的激光束都为超快激光，λ1波长激光束可有效改善透明材料吸收率低的缺点，再使用λ2波长激光束增强焊缝强度，并且不会在焊缝处堆积导致玻璃材料脆裂的热积