一种ArF光刻胶用光引发剂三苯基硫鎓盐的制备方法及其应用.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114736120A(43)申请公布日2022.07.12(21)申请号202210114463.5C07C381/12(2006.01)(22)申请日2022.01.30G03F7/004(2006.01)(71)申请人安徽秀朗新材料科技有限公司地址239500安徽省滁州市全椒县十谭现代产业园朝阳路006号(72)发明人贾英明曹辰辉税新凤庞玉东(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200专利代理师张雅文(51)Int.Cl.C07C67/08(2006.01)C07C69/63(2006.01)C07C69/753(2006.01)C07C303/32(2006.01)C07C309/17(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图6页(54)发明名称一种ArF光刻胶用光引发剂三苯基硫鎓盐的制备方法及其应用(57)摘要本申请涉及有机合成领域，具体提供一种三苯基硫鎓盐的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：以二氟溴乙酸和醇为原料，经缩合反应得到二氟溴乙酸酯；步骤二：将所述二氟溴乙酸酯和焦硫酸钠发生取代反应得到磺酸钠；步骤三：将所述磺酸钠与三苯基氯化硫反应，得到三苯基硫鎓盐。本申请的目的在于提供一种新的合成方法，具有操作简单，安全，收率高，易纯化，便于工业化生产。CN114736120ACN114736120A权利要求书1/1页1.一种三苯基硫鎓盐的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：以二氟溴乙酸和醇为原料，经缩合反应得到二氟溴乙酸酯；步骤二：将所述二氟溴乙酸酯和焦硫酸钠发生取代反应得到磺酸钠；步骤三：将所述磺酸钠与三苯基氯化硫反应，得到三苯基硫鎓盐。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的醇为G‑OH，其中G为桥环烷基，所述桥环烷基中的氢原子可以被‑OH、以羟基封端的C1‑C20的直链状或支链状烷基或以羟基封端的C1‑C20的直链状或支链状烷基中的亚甲基被‑COO‑取代所形成的取代基。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述二氟溴乙酸和所述醇的摩尔比为1.0～1.5:1。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤一中的缩合反应在惰性溶剂、缩合剂和碱存在的条件下进行。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述的惰性溶剂为N,N‑二甲基甲酰胺，二氯甲烷，氯仿，四氢呋喃等，所述的缩合剂为EDCI和HOBT，所述的碱为TEA，DIPEA，DMAP等。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤二中的取代反应中，二氟溴乙酸酯与焦硫酸钠的摩尔比为1:1.0～2.0。7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤二中的取代反应在溶剂和碱存在的条件下进行，所述溶剂为乙腈，丙酮，四氢呋喃等，所述碱为TEA，DIPEA，碳酸氢钠，碳酸钠。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述步骤二中的所述碱与二氟溴乙酸酯的摩尔比为1.0～1.5:1.。9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤三中的所述磺酸钠与所述三苯基氯化硫的摩尔比为1:1.0～2.0。10.权利要求1～9所述的制备方法制备得到的三苯基硫鎓盐在光固化领域中的应用。2CN114736120A说明书1/5页一种ArF光刻胶用光引发剂三苯基硫鎓盐的制备方法及其应用技术领域[0001]本申请涉及有机合成领域，具体涉及一种ArF光刻胶用光引发剂三苯基硫鎓盐的制备方法及其应用。背景技术[0002]光引发剂，是一类能在紫外光区(250～420nm)或可见光区(400～800nm)吸收一定波长的能量，产生自由基、阳离子等，从而引发单体聚合交联固化的化合物。而高性能的光引发剂应具有以下优点：(1)廉价，合成简单；(2)光引发剂及其光裂解产物应无毒无味；3)稳定性好，便于长时间储存；(4)光引发剂的吸收光谱须与辐射光源的发射谱带相匹配，且具有较高的摩尔消光系数；(5)由于大多数光引发剂分子吸收光能后跃迁至激发单线态，经系间窜跃到激发三线态，因此，引发剂的系间窜跃效率要高；(6)较高的引发效率。因此高效的、安全的批量生产光引发剂是光电领域中的重要课题。[0003]而三苯基硫鎓盐作为常见的光引发剂，目前已有诸多报道，如美国专利US8779183B2公开了一种三苯基硫鎓盐的合成方法，其合成路线如下所示：[0004][0005]从上述路线可以看出，其采用了硼氢化钠，而硼氢化钠是易制爆危险化学品，反应释放出氢气不利于工业化生产；此外，酰氯的制备需要氯化亚砜或草酰氯，其中氯化亚砜具强腐蚀性、强刺激性、强酸性，草酰氯不仅对空气敏感，遇到潮气会发生分解放出氯化氢，具有高毒性和腐蚀性，不利于工业化生产。[0006]专利TW201627296A公开了一种三苯基硫鎓盐的合成方法，其合成路线如