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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102301695102301695B(45)授权公告日2015.02.11(21)申请号201080006073.1H01L27/148(2006.01)(22)申请日2010.01.22(56)对比文件(30)优先权数据CN101277374A,2008.10.01,2009-0202002009.01.30JPEP1152469A2,2001.11.07,(85)PCT国际申请进入国家阶段日审查员饶俊2011.07.29(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2010/0508192010.01.22(87)PCT国际申请的公布数据WO2010/087289JA2010.08.05(73)专利权人浜松光子学株式会社地址日本静冈县(72)发明人铃木久则米田康人高木慎一郎前田坚太郎村松雅治(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司11322代理人龙淳(51)Int.Cl.H04N5/335(2011.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书9页说明书9页附图13页附图13页(54)发明名称固体摄像装置(57)摘要本发明提供一种固体摄像装置,本发明的一实施方式的固体摄像装置(1)是电荷倍增型固体摄像装置,具备:生成对应于入射光量的电荷的摄像区域(10)、接收来自摄像区域(10)的电荷的输出寄存器部(20)、将来自输出寄存器部(20)的电荷倍增的倍增寄存器部(40)、及使被输入到倍增寄存器部(40)的电荷在与传输方向正交的宽度方向上分散的至少1个电荷分散机构(71)。CN102301695BCN1023695BCN102301695B权利要求书1/1页1.一种固体摄像装置,其特征在于,其是电荷倍增型固体摄像装置,具备:生成对应于入射光量的电荷的摄像区域;接收来自所述摄像区域的电荷的输出寄存器部;将来自所述输出寄存器部的电荷倍增的倍增寄存器部;使被输入到所述倍增寄存器部的电荷在与传输方向正交的宽度方向上分散的至少1个电荷分散机构;以及配置于所述输出寄存器部与所述倍增寄存器部之间的中间寄存器部,所述电荷分散机构配置于所述中间寄存器部的至少输出侧,并且由在所述宽度方向上间隔配置多个的阻碍电荷传输的半导体区域或绝缘区域构成。2.一种固体摄像装置,其特征在于,其是电荷倍增型固体摄像装置,具备:生成对应于入射光量的电荷的摄像区域;接收来自所述摄像区域的电荷的输出寄存器部;将来自所述输出寄存器部的电荷倍增的倍增寄存器部;使被输入到所述倍增寄存器部的电荷在与传输方向正交的宽度方向上分散的至少1个电荷分散机构;以及配置于所述输出寄存器部与所述倍增寄存器部之间的中间寄存器部,所述电荷分散机构配置于所述中间寄存器部的至少输出侧,并且包含配置于所述宽度方向上的电荷密度低的位置且用于提高电荷诱导作用的电极。3.一种固体摄像装置,其特征在于,其是电荷倍增型固体摄像装置,具备:生成对应于入射光量的电荷的摄像区域;接收来自所述摄像区域的电荷的输出寄存器部;将来自所述输出寄存器部的电荷倍增的倍增寄存器部;以及使被输入到所述倍增寄存器部的电荷在与传输方向正交的宽度方向上分散的至少1个电荷分散机构,所述电荷分散机构配置于所述倍增寄存器部的至少输入侧,并且包含配置于所述宽度方向上的电荷密度低的位置且用于提高电荷诱导作用的电极。2CN102301695B说明书1/9页固体摄像装置技术领域[0001]本发明关于一种EM-CCD等的电荷倍增型固体摄像装置。背景技术[0002]CCD(ChargeCoupledDevice,电荷耦合组件)作为用于拍摄入射光的像的固体摄像装置已广为人知,而CCD之中,已知有可拍摄微弱光的像的EM-CCD(ElectronMultiplying-CCD,电子倍增电荷耦合组件)。这种固体摄像装置,除具备多个光电二极管等生成对应于入射光量的电荷的摄像区域、读取摄像区域的电荷的输出寄存器部外,还具备倍增所读取的电荷的倍增寄存器部,通过使用倍增寄存器部的电荷倍增作用使微弱光的像的拍摄成为可能。这种固体摄像装置记载于专利文献1。[0003]先前技术文献[0004]专利文献[0005]专利文献1:日本特许第3862850号公报发明内容[0006]发明所要解决的问题[0007]但是,电荷具有在传输路径的最短距离上移动的性质。因此,即使宽幅地形成倍增寄存器部,电荷也将只集中于倍增寄存器部的宽度方向的一部分,而在倍增寄存器部进行局部性电荷倍增。其结果,电荷倍增效率降低,且电荷容量受限,而有可能产生局部性倍增增益的劣化。[0008]因此,本发明的目的在于提供一种可抑制倍增寄存器部的传输电荷的局部性集中的固体摄像装置。[0009]解决问题的技术手段[0010]本发