简单操作流程.doc

國科會南區微機電系統研究中心

簡單操作流程
刷卡、填儀器紀錄簿、插上真空馬達插座

打開主機及面板之POWER

（主機POWER，機台後方）（面板POWER）
進入DATASET設定

按下▲、▼鍵，選擇programNO﹒
SET鍵移往設定畫面
開始設定program

設定SPINTIME、SPINSPEED（SPINTIME為到達所設定回轉數的時間）
最後一個STEP需將MODE設為9
回到主畫面，進入AUTORUN畫面

將SAMPLE放置STAGE上面，然後『VACON』
利用▲、▼鍵，指向所設之PROGRAMNO.

按下START鈕，即開始SPIN動作

若有任何狀況『RESET』鈕燈即會亮，則依所發生之錯誤訊息，重新設定
若欲停止SPIN動作，則按下『STOP』鈕
若有任何緊急狀況，欲全部動作停止者，按下『EMERGENCYSTOP』鈕

SPIN時，會依所設定之PROGRAM執行每個步驟

畫面下方會顯示目前的轉速，SPIN的時間，及所RUN之PROGRAM
SPIN結束時，buzzer會響3秒，stopswitch燈即亮，回到自動運轉menu選擇畫面
自動運轉時，若蓋子被打開即會自動停止，時警報器響，stop燈亮。按resetswitch鍵來停止buzzer，返回到自動運轉menu選擇畫面。

若欲重複SPIN時，則重複3~7之步驟
清理動作：
將無塵布換掉，換上新的無塵布
將機台沾到光阻液之地方清洗乾淨
關機
切調主機電源

拔掉馬達插座
刷卡、填寫會議記錄簿