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IC设计制造流程培训 纲要 •行业背景知识 •集成电路的设计 •集成电路的生产制造过程 •集成电路的封装以及测试 第一部分 •行业背景知识 •集成电路的设计过程 •集成电路的生产制造过程 •集成电路的封装以及测试 概述 •行业背景知识 –什么是微电子技术和集成电路? –集成电路的基本概念 –集成电路的起源 –集成电路的发展及ITRS •InternationalTechnologyRoadmapforSemiconductors –我国集成电路行业现状 什么是微电子技术? –芯片制造技术 •超精细加工技术、薄膜生长和控制技术、高密度组 装技术、过程检测和过程控制技术 –计算机辅助设计与计算机辅助测试技术 –掩膜制造技术 –材料加工技术 –可靠性技术 –封装技术和辐射加固技术 什么是集成电路? 集成电路的基本概念 常用术语 晶圆(WAFER) 前、后道工序 光刻 特征尺寸(即线宽) 集成电路的起源 •晶体管的发明,BellLab,1947年 •集成电路概念,杰克-基尔比(JackKilby),TI, 1958年 集成电路的发展 •第一次变革:以加工制造为主导的IC产业发展的初级阶段。70年代 –IC设计是附属部门。人工设计为主。 •第二次变革:Foundry公司与IC设计公司的崛起。80年代 –集成电路的主流产品为微处理器(MPU)、微控制器(MCU)及专用IC(ASIC) •第三次变革:“四业分离”的IC产业。90年代 –形成了设计业、制造业、封装业、测试业独立成行 InternationalTechnologyRoadmapforSemiconductors(ITRS) •摩尔定律(Moore‘sLaw) –集成电路芯片上所集成的电路的数目,每隔18 个月就翻一番 •半导体国际技术发展蓝图-ITRS –路线图协作组(RoadmapCoordinatingGroup, RCG)成立于1992年 –(网址:http://www.itrs.net) –“每节点实现大约0.7倍的缩小”或“每两个节 点实现0.5倍的缩小” 我国集成电路行业现状 •集成电路设计、芯片制造与封装测试三业 竞相发展 –“以IC设计业为先导,IC制造业为主体” •在规模快速扩大的同时,技术水平迅速提 高 •自主开发和产业化取得了突破性的进展 第三部分 •行业背景知识 •集成电路的设计 •集成电路的生产制造过程 •集成电路的封装以及测试 什么是IC设计? •IC设计是将系统、逻辑与性能的设计要求转 化为具体的物理版图的过程,也是一个把 产品从抽象的过程一步步具体化、直至最 终物理实现的过程。 IC设计流程 •规范目标 •行为设计 •结构设计 •逻辑实现 •物理实现 •版图工程 华虹集成的IC设计流程(ISO流程) Kickoffmeeting n g i sVerificationplanArchitectureDesignAnalogIPrequirementDesignFIX •架构设计e D h c rArchitectureReviewN A –系统架构设计Y BlockverificationDigitalCircuitDesignAnalogcircuitdesign n g i s 电路设计e •D SystemverificationSynthesisAnaloglayoutdesign t i u c r i 模拟电路设计C –CircuitdesignreviewN Y –数字电路设计P&R n g i s nPostSIMPostSTA/FM e 物理设计g •i D s l e a c D i s CLayout y I –版图设计h P –版图验证DRC/LVScheck TapeoutreviewN t u o Y •e Tapeoutp aTapeOut •设计验证T FaboutandPackage n o i t a d i 功能验证l –aDV v n g i s eDVreviewN D Y Samplerelease IC设计的几个基本概念 •前端设计和后端设计 •Top-Down和BottomUp •设计输入 •仿真 •综合 •单元库 •EDA软件和CAD •Tape-out 前端设计和后端设计 前端反相器设计后端反相器设计 Top-Down和Bottom-Up •自顶而下的设计(Top-Down) –IC设计的常规流程 –便于早期发现问题 –可以共享底层资源 •由下而上的设计(Bottom-Up) –小模块或者建库 –关键电路(提高性能) –反向工程(ReverseEngineering)