光学扫描高度测量装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108253891A(43)申请公布日2018.07.06(21)申请号201711459225.3(22)申请日2017.12.28(30)优先权数据2016-2566102016.12.28JP(71)申请人株式会社基恩士地址日本大阪府(72)发明人里吉宽之杉野公彦本间达朗(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人李铭陈源(51)Int.Cl.G01B11/02(2006.01)权利要求书3页说明书30页附图30页(54)发明名称光学扫描高度测量装置(57)摘要提供了一种能够有效地对测量对象的期望部分的形状进行测量的光学扫描高度测量装置。接收测量对象(S)的图像上的测量点的指派。从发光部分(231)发射的光通过偏转部分偏转并且辐射在测量对象(S)上。偏转部分受到控制以将光辐射至测量对象(S)的对应于测量点的部分上。检测偏转部分的偏转方向或者通过偏转部分偏转的光的辐射位置。通过光接收部分接收来自测量对象(S)的光，并且输出指示接收到的光量的光接收信号。基于偏转部分的偏转方向或者通过偏转部分偏转的光的辐射位置以及通过光接收部分输出的光接收信号来计算测量对象(S)的对应于测量点的所述部分的高度。CN108253891ACN108253891A权利要求书1/3页1.一种光学扫描高度测量装置，包括：图像获取部分，其被构造为获取测量对象的图像；位置信息获取部分，其被构造为接收由所述图像获取部分获取的所述测量对象的图像上的测量点的指派；发光部分，其被构造为发射光；偏转部分，其被构造为使从所述发光部分发射的光偏转，并且将所述光辐射至所述测量对象上；光接收部分，其被构造为从所述测量对象接收光并且输出指示接收到的光量的光接收信号；驱动控制部分，其被构造为控制所述偏转部分将光辐射至所述测量对象的对应于所述测量点的部分上；检测部分，其被构造为检测所述偏转部分的偏转方向或者通过所述偏转部分偏转的光的辐射位置；以及高度计算部分，其被构造为基于通过所述检测部分检测到的所述偏转部分的偏转方向或者通过所述偏转部分偏转的光的辐射位置、以及通过所述光接收部分输出的光接收信号，来计算所述测量对象的对应于所述测量点的部分的高度。2.根据权利要求1所述的光学扫描高度测量装置，其中，所述位置信息获取部分将指示接收到的测量点的位置的指示符叠加并显示在由所述图像获取部分获取的所述测量对象的图像上。3.根据权利要求1或2所述的光学扫描高度测量装置，其中，当所述位置信息获取部分按次序接收第一测量点和第二测量点的指派时，所述驱动控制部分能够控制所述偏转部分在所述位置信息获取部分接收到所述第一测量点之后并在所述位置信息获取部分接收到所述第二测量点之前将光辐射至所述测量对象的对应于所述第一测量点的部分上。4.根据权利要求1或2所述的光学扫描高度测量装置，其中，所述位置信息获取部分还接收由所述图像获取部分获取的所述测量对象的图像上的一个或多个基准点的指派，所述驱动控制部分控制所述偏转部分将光辐射至所述测量对象的对应于所述一个或多个基准点的一个或多个部分上，所述光学扫描高度测量装置还包括：坐标计算部分，其被构造为基于所述检测部分的检测结果和通过所述光接收部分输出的光接收信号来计算与通过所述位置信息获取部分接收到的图像上的位置相对应的坐标；以及基准面获取部分，其被构造为基于通过所述坐标计算部分计算的与所述一个或多个基准点相对应的一个或多个坐标来获取基准面，并且所述高度计算部分基于通过所述坐标计算部分计算的对应于所述测量点的坐标来计算基于通过所述基准面获取部分获取的基准面的测量对象的所述部分的高度。5.根据权利要求1或2所述的光学扫描高度测量装置，其中，所述光学扫描高度测量装置具有预先决定的特有坐标系，并且2CN108253891A权利要求书2/3页所述高度计算部分基于所述特有坐标系中的原点来计算所述测量对象的所述部分的高度。6.根据权利要求1或2所述的光学扫描高度测量装置，还包括：参考主体，其被布置为能够沿着第一移动轴移动；导光部分，其被构造为将由所述发光部分发射的光导向至所述偏转部分作为测量光并将由所述发光部分发射的光导向至所述参考主体作为参考光，产生来自所述测量对象的被所述偏转部分反射的测量光与被所述参考主体反射的参考光的干涉光，并且将产生的干涉光导向至所述光接收部分；参考位置获取部分，其被构造为获取所述参考主体的位置；以及光谱部分，其被构造为使通过所述导光部分产生的干涉光按照光谱色散，其中，所述发光部分发射低时间相干性光，所述偏转部分使通过所述导光部分导向的测量光偏转，以将所述测量光辐射至所述测量对象上并将来自所述测量对象的所述测量光反射至所述导光部分，所述光接收部分接收被所述光