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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115786868A(43)申请公布日2023.03.14(21)申请号202211056296.X(22)申请日2022.08.30(71)申请人新倍司特系统科技(苏州)有限公司地址215000江苏省苏州市昆山市花桥镇黎明路68号(72)发明人陈锋光(74)专利代理机构北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)11357专利代理师李晓峰(51)Int.Cl.C23C14/54(2006.01)C23C16/46(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图9页(54)发明名称一种均匀涂覆低温涂层的设备及方法(57)摘要本发明涉及一种均匀涂覆低温涂层的设备及方法,包括馈穿件,馈穿件上设置有转架,转架上设置有若干个基片,转架上的中间位置设置有冷热鼓,若干个基片分布在冷热鼓的外侧位置,冷热鼓的内部设置有液体通道,液体通道包括第一循环管路和第二循环管路。本发明通过冷热鼓、换热板和制冷机的结构设计,可以将热传导到涂层机外,并实现涂层机热量的循环利用;本发明通过基片加热步骤主要用于涂层前基片加热脱气;本发明通过基片冷却步骤将涂层过程中的热量通过热辐射或热传导的形式带到涂层机外,基片能保持在一个工艺设定的温度。对回火温度低的基片和涂层温度低的工艺,是一个合适的导热方法。CN115786868ACN115786868A权利要求书1/2页1.一种均匀涂覆低温涂层的设备,包括馈穿件(15),所述馈穿件(15)上设置有转架(14),所述转架(14)上设置有若干个基片(13),其特征在于,所述转架(14)上的中间位置设置有冷热鼓(1),若干个所述基片(13)分布在冷热鼓(1)的外侧位置,所述冷热鼓(1)的内部或贴附设置有导热剂通道,所述导热剂通道包括第一循环管路(5)和第二循环管路(12),所述第一循环管路(5)与第一三通阀(6)的第一端相连接,所述第一三通阀(6)的第二端与加热器(2)相连接,所述第一三通阀(6)的第三端与换热板(7)相连接,所述换热板(7)与制冷机(8)相连接,所述第二循环管路(12)与第二三通阀(11)的第一端相连接,所述第二三通阀(11)的第二端与第一缓冲罐(4)相连接,所述第二三通阀(11)的第三端与第二缓冲罐(10)相连接,所述加热器(2)和第一缓冲罐(4)之间连接设置有第一泵(3),所述换热板(7)和第二缓冲罐(10)之间连接设置有第二泵(9)。2.如权利要求1所述的一种均匀涂覆低温涂层的设备,其特征在于,所述转架(14)为圆盘状结构或多边形结构或矩形结构,所述冷热鼓(1)为圆柱状结构,若干个所述基片(13)均为圆柱状结构或多边形结构或矩形板状结构,若干个所述基片(13)沿着圆周方向均匀的设置在转架(14)上,且若干个所述基片(13)与冷热鼓(1)之间设置有间隙。3.如权利要求1所述的一种均匀涂覆低温涂层的设备,其特征在于,所述转架(14)为圆盘状结构或多边形结构或矩形结构,所述冷热鼓(1)为圆柱状结构,若干个所述基片(13)沿着圆周方向均匀的设置在冷热鼓(1)上。4.如权利要求1所述的一种均匀涂覆低温涂层的设备,其特征在于,所述转架(14)为圆盘状结构或多边形结构或矩形结构,所述冷热鼓(1)为多边形结构,若干个所述基片(13)沿着冷热鼓(1)的若干个边均匀的设置在冷热鼓(1)上。5.如权利要求1所述的一种均匀涂覆低温涂层的设备,其特征在于,所述转架(14)为圆盘状结构或多边形结构或矩形结构,所述冷热鼓(1)为开口朝外的多边弧形结构,若干个所述基片(13)沿着冷热鼓(1)的若干个弧形边均匀的设置在冷热鼓(1)上。6.如权利要求1所述的一种均匀涂覆低温涂层的方法,其特征在于,包括基片加热步骤和基片冷却步骤,所述基片加热步骤为把冷热鼓(1)的温度调至比基片(13)高的温度,并对基片(13)进行加热;所述基片冷却步骤为把冷热鼓(1)温度调到比基片(13)低的温度,并对基片(13)进行冷却。7.如权利要求6所述的一种均匀涂覆低温涂层的方法,其特征在于,所述基片加热步骤依次包括以下步骤:1)打开第一三通阀(6)的第二端使得第一循环管路(5)与加热器(2)相连接;2)打开第二三通阀(11)的第二端使得第二循环管路(12)与第一缓冲罐(4)相连接;3)加热器(2)对导热剂进行加热,导热剂受热后在第一泵(3)的作用下,通过第一循环管路(5)被推送到冷热鼓(1),并对冷热鼓(1)加热处理,冷热鼓(1)再对基片(13)加热处理,热的导热剂通过第二循环管路(12)回流至第一缓冲罐(4)中。8.如权利要求6所述的一种均匀涂覆低温涂层的方法,其特征在于,所述基片冷却步骤依次包括以下步骤:1)打开第一三通阀(6)的第三端使得第一循环管路(5)与换热板(7)相连接;2)打开第二三通阀(11