夹持式薄膜电镀装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115821358A(43)申请公布日2023.03.21(21)申请号202310102151.7(22)申请日2023.02.13(71)申请人常州欣盛半导体技术股份有限公司地址213025江苏省常州市经济开发区潞横路2288号(72)发明人蔡水河陈正能(74)专利代理机构常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙)32409专利代理师朱丽莎(51)Int.Cl.C25D17/00(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图7页(54)发明名称夹持式薄膜电镀装置(57)摘要本发明公开了一种夹持式薄膜电镀装置，包括：两个轮轴组件，两个轮轴组件对称设置，两个轮轴组件同步运动，一轮轴组件与薄膜的一侧相连，另一轮轴组件与薄膜的另一侧相连；轮轴组件包括：轮轴，轮轴与薄膜的第一表面滚动相连；多个夹持装置，多个夹持装置均匀设在轮轴上；闭夹机构，闭夹机构位于轮轴的进料端，闭夹机构用于推动夹持装置压在薄膜的第二表面上，以使夹持装置与轮轴配合夹持住薄膜；开夹机构，开夹机构位于轮轴的出料端，开夹机构用于反向推动夹持装置，以释放薄膜。本发明具有提高薄膜输送稳定性，同时提高表面镀层均匀性和电镀效果的优点。CN115821358ACN115821358A权利要求书1/2页1.一种夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，包括：两个轮轴组件，两个所述轮轴组件对称设置，两个所述轮轴组件同步运动，一所述轮轴组件与薄膜（6）的一侧相连，另一所述轮轴组件与薄膜（6）的另一侧相连；所述轮轴组件包括：轮轴（1），所述轮轴（1）与所述薄膜（6）的第一表面滚动相连；多个夹持装置（4），多个所述夹持装置（4）均匀设在所述轮轴（1）上；闭夹机构（2），所述闭夹机构（2）位于所述轮轴（1）的进料端，所述闭夹机构（2）用于推动所述夹持装置（4）压在所述薄膜（6）的第二表面上，以使所述夹持装置（4）与所述轮轴（1）配合夹持住所述薄膜（6）；开夹机构（3），所述开夹机构（3）位于所述轮轴（1）的出料端，所述开夹机构（3）用于反向推动所述夹持装置（4），以释放所述薄膜（6）。2.根据权利要求1所述的夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，所述轮轴（1）包括：滚轮（11），所述滚轮（11）的外周面与所述薄膜（6）的第一表面滚动相连，多个所述夹持装置（4）沿圆周方向均匀分布在所述滚轮（11）的一侧；滚轴（12），所述滚轴（12）与所述滚轮（11）同轴设置，所述滚轴（12）的一端与所述滚轮（11）的一侧相连。3.根据权利要求2所述的夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，所述滚轮（11）的外周面上开设有环形槽（13），所述环形槽（13）内设置有导电圈，所述导电圈与所述薄膜（6）的第一表面电连接，所述导电圈与第一电源（7）的负极相连。4.根据权利要求3所述的夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，所述夹持装置（4）包括：安装座（41），所述安装座（41）设在所述滚轮（11）的一侧；翻转杆（42），所述翻转杆（42）的中部转动安装在所述安装座（41）上；连杆组件，所述连杆组件的一端与所述安装座（41）转动相连，所述连杆组件的另一端与所述翻转杆（42）的一端转动相连，所述翻转杆（42）的另一端位于所述滚轮（11）外周面的一侧。5.根据权利要求4所述的夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，所述夹持装置（4）还包括：外端子（44），所述外端子（44）安装在所述翻转杆（42）朝向所述滚轮（11）外周面的一侧；导线（43），所述导线（43）的一端与所述外端子（44）相连；内端子（45），所述内端子（45）与所述导线（43）的另一端相连，所述滚轮（11）的外周面上开设有圆孔（14），所述内端子（45）设于所述圆孔（14）内，所述内端子（45）与第二电源（9）的负极相连。6.根据权利要求4所述的夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，所述连杆组件包括：两个第一连杆（46），两个所述第一连杆（46）平行设置，两个所述第一连杆（46）的一端均与所述翻转杆（42）转动连接；两个第二连杆（47），两个所述第二连杆（47）平行设置，两个所述第二连杆（47）的一端均与所述安装座（41）转动连接，一所述第二连杆（47）的另一端与一所述第一连杆（46）的另一端转动连接，另一所述第二连杆（47）的另一端与另一所述第一连杆（46）的另一端转动连接；2CN115821358A权利要求书2/2页垫块（48），所述垫块（48）位于两个所述第一连杆（46）之间，销钉依次连接一第二连杆（47）的另一端、一第一连杆（46）的另一端、垫块（48）、另一第二连杆（47）的另一端和另一第一连杆（46）的另一端。7.根据权利要求5所述的夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，所述闭夹机构（2）包括：第一支架（21）；第一气缸（22），所述第