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半球谐振陀螺超高真空度排气设备夹封方法.pdf

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本发明公开了一种半球谐振陀螺超高真空度排气设备夹封方法,1)先获取半球谐振陀螺超高真空度排气设备用夹封装置;2)然后由夹封装置对半球谐振陀螺超高真空度排气设备的排气管进行第一次装夹,装夹的同时,启用抽真空设备对排气管变形时释放的气体进行抽吸;第一次装夹时,不夹断排气管;3)当抽真空设备真空度示数恢复至正常示数时,然后按步骤2)在上一次装夹基础上对排气管进行下一次装夹;4)根据预设的装夹次数,重复步骤3),直到将排气管封断。本发明能够实现排气铜管的慢速夹封,可确保铜管变形所释放的气体被吸收殆尽,不影响器件原有的真空度。