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光酸产生剂.pdf
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书生****ma
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光酸产生剂.pdf
本发明涉及一种新型光酸产生剂化合物阳离子,其包含元素,所述元素对于92eV光子(极紫外(EUV))具有至少0.5×10<base:Sup>7</base:Sup>·cm<base:Sup>2</base:Sup>/mol的吸收截面;具有至少两种稳定的氧化态;并且选自元素周期表的第1族至第15族的元素。另外,本发明涉及包含所述光酸产生剂化合物阳离子和阴离子的光酸产生剂。此外,本发明旨在提供一种包含所述光酸产生剂和酸不稳定聚合物的光致抗蚀剂组合物。最后,本发明涉及使用光致抗蚀剂组合物产生酸的方法和在基材上形成
2023-06-07
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光酸产生剂.pdf
本发明涉及一种新型光酸产生剂化合物阳离子,其包含元素,所述元素对于92eV光子(极紫外(EUV))具有至少0.5×10<base:Sup>7</base:Sup>·cm<base:Sup>2</base:Sup>/mol的吸收截面;具有至少两种稳定的氧化态;并且选自元素周期表的第1族至第15族的元素。另外,本发明涉及包含所述光酸产生剂化合物阳离子和阴离子的光酸产生剂。此外,本发明旨在提供一种包含所述光酸产生剂和酸不稳定聚合物的光致抗蚀剂组合物。最后,本发明涉及使用光致抗蚀剂组合物产生酸的方法和在基材上形成
2023-06-07
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光酸产生剂及包含该光酸产生剂的光刻胶.pdf
具有式(I)所示结构的光酸产生剂化合物：[A-(CHR1)p]k-(L)-(CH2)m-(C(R2)2)n-SO3-Z+?(I)，其中A是任选地包含O、S、N、F或包含上述至少一种的组合的取代或未取代的单环、多环或稠合多环的C5或者更大的脂环族基团，R1是H、单键、或取代或未取代的C1-30烷基，其中当R1是单键时，R1是以共价键的方式与A的一个碳原子键合，每个R2独立地是H、F、或C1-4氟烷基，其中至少一个R2不是氢，L是包括磺酸盐/酯基团、磺酰胺基团、或C1-30的含有磺酸盐/酯或磺酰胺基团的连接基
2023-06-14
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磺酰光酸产生剂和包含该磺酰光酸产生剂的光刻胶.pdf
本发明提供一种磺酰光酸产生剂和包含该磺酰光酸产生剂的光刻胶。提供了一种如下式Ⅰ所示的光酸产生剂化合物，其中W，Y相互独立地为氢、氟、任选取代的氟烷基；任选取代的氟烷氧基；或任选取代的氟代碳环芳基；W’，Y’相互独立地为与W，Y相同基团；W”，Y”相互独立地为与W，Y相同基团；n，n’和n”各自相同或不同，并且分别为正整数；U，U’和U”各自相同或不同，并且分别为连接基团；R，R’和R”各自相同或不同，并且分别为任选取代的碳脂环基团，任选取代的杂脂环基团，任选取代的碳环芳基，或任选取代的杂芳香族基团；X+是
2023-06-14
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光产酸剂.pdf
本发明提供在光固化性组合物、化学增幅型负型光致抗蚀剂组合物中有用的光产酸剂,其是对这些组合物的耐黄变性有用的有用的光产酸剂。本发明的光产酸剂的特征在于,其含有下述通式(1)所表示的锍盐(CA)和通式(2)所表示的化合物(S),在设利用高效液相色谱(HPLC)测定锍盐(CA)和化合物(S)的总量时的锍盐(CA)和化合物(S)的总面积为100时,化合物(S)的面积比为0.02以上3.0以下。<base:Imagehe=@392@wi=@980@file=@DDA0003545655740000011.JPG@
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