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一种背照射光探测阵列结构及其制备方法.pdf

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本发明提供一种背照射光探测阵列结构,包括:光聚焦结构、基底、光收集结构、光电二极管、填充物质。本发明还提供一种背照射光探测阵列结构的制备方法。本发明提出了一种新型光电管阵列的设计,同时集成光聚焦结构和光收集结构,可有效提升基于小尺寸光电二极管阵列的传感器系统的外量子效率,大幅提升整体的光接收效率;对于高速光通讯的应用场景,通常只需要1颗或4～8颗光电探测器即可,本发明的结构设计同样可以降低电容和暗电流,同时保证具有较高的响应度,与光纤耦合时也具有较大的对准容差。