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本发明公开一种利用微波加热氯化焙烧提纯石英砂的方法,包括如下步骤:(1)将石英矿石破碎筛分,得到石英砂;(2)将石英砂与氯化物盐进行均匀混合,得到混合物;(3)将所述混合物进行微波加热,然后保温,得到经微波处理后的石英砂;(4)将经微波处理后的石英砂倒进水中进行水淬并在水中浸泡漂洗去除残余的氯化物盐后捞出;(5)将石英砂与酸性溶液混合进行酸浸处理;(6)将石英砂捞出,用水冲洗清洗至中性,烘干。本发明提高石英砂中杂质元素特别是重点杂质元素Al的去除率,达到97.6%,其含量降低到17.9ppm,接近电子级超高纯石英砂需要的水平,处理温度相对较低,能耗低,对设备腐蚀程度小,采用氯化物盐作为氯化剂,操作简便易行,易于在工业生产中推广应用。