预览加载中，请您耐心等待几秒...

电容测量装置及电容测量方法.pdf

预览
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲，该文档总共15页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～

下载提示 文本预览

如果您无法下载资料，请参考说明：

1、部分资料下载需要金币，请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档，再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压，在使用对应软件打开

一种电容测量装置及电容测量方法,配置为批量测试芯片的电容参数,所述电容测量装置包括:测量电路板,包括:测试工位,配置为安装所述待测芯片;以及参考电容,所述参考电容的第一端与安装在所述测试工位的待测芯片的第一管脚电连接于第一节点,所述参考电容的第二端配置为接收第一测量信号,所述安装在所述测试工位的待测芯片的第二管脚配置为接收第二测量信号,以及自动测试机,与所述测量电路板电连接,配置为提供所述第一测量信号和所述第二测量信号,并基于第一节点处的信号确定所述待测芯片的电容参数,其中,所述第一测量信号和第二测量信号均为正弦信号或余弦信号,其第一测量信号与所述第二测量信号的相位差为(2n+1)π,其中n为整数。