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X射线成像系统.pdf

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披露了一种X射线成像系统,该成像系统包括:靶;电子束源,被配置为提供电子束以与该靶相互作用来产生X射线辐射;电子光学器件,被配置为交替地将该电子束引导至该靶上的该至少第一位置和第二位置;X射线检测器阵列,被配置为接收在该靶上的该第一位置和第二位置处产生的X射线辐射;样品位置区域,用于接收待暴露于所产生的X射线辐射的样品,该样品位置区域位于在该第一位置处产生的X射线辐射与在该第二位置处产生的X射线辐射发生重叠的区域中;以及联接到该X射线检测器阵列的处理单元,该处理单元被配置为基于源自该第一位置和该第二位置的X射线辐射来创建位于该样品位置区域中的样品的图像。电子束在这些位置之间移动,使得该第一位置和第二位置的相继暴露之间的时间小于10μs,由此减小热引起的机械应力。还披露了相应的方法。