一种压电驱动MEMS反射镜.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115857158A(43)申请公布日2023.03.28(21)申请号202310119562.7(22)申请日2023.02.03(71)申请人合肥领航微系统集成有限公司地址230000安徽省合肥市高新区孔雀台路2899号联东U谷·合肥高新国际企业港18-101号(72)发明人雷禹陈千禧(74)专利代理机构合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)34124专利代理师朱文振(51)Int.Cl.G02B26/08(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种压电驱动MEMS反射镜(57)摘要本发明属于半导体设备领域，具体涉及一种压电驱动MEMS反射镜，包括：基底；镜片，镜片位于腔体内部；驱动结构，驱动结构包括：第一驱动块、第二驱动块、第三驱动块和第四驱动块，第一驱动块、第二驱动块、第三驱动块和第四驱动块均与基底的腔体内壁固定连接，第一驱动块通过第一柔性连接杆与柔性杆连接，第二驱动块通过第二柔性连接杆与柔性杆连接，第三驱动块通过第三柔性连接杆与柔性杆连接，第四驱动块通过第四柔性连接杆与柔性杆连接，柔性杆与镜片连接。本发明提出的压电驱动MEMS反射镜，接近镜片的驱动块体积较小，从而将中心反射镜包裹起来，通过杠杆原理，在减小了器件面积的同时，保持了较大的驱动力。CN115857158ACN115857158A权利要求书1/1页1.一种压电驱动MEMS反射镜，其特征在于，包括：基底(1)，所述基底(1)具有相对的正面及背面，所述正面具有腔体；镜片(5)，所述镜片(5)位于所述腔体内部；驱动结构(2)，所述驱动结构(2)包括：第一驱动块(2a)、第二驱动块(2b)、第三驱动块(2c)和第四驱动块(2d)，所述第一驱动块(2a)、第二驱动块(2b)、第三驱动块(2c)和第四驱动块(2d)均与所述基底(1)的腔体内壁固定连接，所述第一驱动块(2a)通过第一柔性连接杆(3a)与柔性杆(4)连接，所述第二驱动块(2b)通过第二柔性连接杆(3b)与柔性杆(4)连接，所述第三驱动块(2c)通过第三柔性连接杆(3c)与柔性杆(4)连接，所述第四驱动块(2d)通过第四柔性连接杆(3d)与柔性杆(4)连接，所述柔性杆(4)与所述镜片(5)连接。2.根据权利要求1所述的压电驱动MEMS反射镜，其特征在于，所述第二驱动块(2b)的体积小于第一驱动块(2a)，大于第三驱动块(2c)；所述第三驱动块(2c)的体积大于第四驱动块(2d)。3.根据权利要求2所述的压电驱动MEMS反射镜，其特征在于，所述第二柔性连接杆(3b)的长度大于第一柔性连接杆(3a)，小于第三柔性连接杆(3c)；所述第三柔性连接杆(3c)的长度大于第四柔性连接杆(3d)的长度。4.根据权利要求1所述的压电驱动MEMS反射镜，其特征在于，所述第二驱动块(2b)的体积大于第一驱动块(2a)，小于第三驱动块(2c)；所述第三驱动块(2c)的体积小于第四驱动块(2d)。5.根据权利要求4所述的压电驱动MEMS反射镜，其特征在于，所述第二柔性连接杆(3b)的长度小于第一柔性连接杆(3a)，大于第三柔性连接杆(3c)；所述第三柔性连接杆(3c)的长度小于第四柔性连接杆(3d)的长度。2CN115857158A说明书1/3页一种压电驱动MEMS反射镜技术领域[0001]本说明书一个或多个实施例涉及半导体设备领域，尤其涉及一种压电驱动MEMS反射镜。背景技术[0002]MEMS反射镜可以用于光学扫描仪、HUD抬头显示、激光雷达等需要对光路进行控制的应用中。传统的静电驱动的MEMS反射镜采用梳齿状结构实现机电转换，一部分梳齿结构为固定梳齿，另一部分梳齿结构为可动梳齿，固定梳齿和可动梳齿之间有极小的间隙，通过在固定梳齿和可动梳齿之间施加电激励，使反射镜发生角度偏转。[0003]然而，静电驱动的驱动力与固定梳齿和可动梳齿的重叠面积有关，当可动梳齿随反射镜发生偏转后，固定梳齿和可动梳齿的重叠面积会减小，导致驱动力减小。因此，受的驱动结构的限制，静电驱动的MEMS反射镜无法提供大角度的偏转。[0004]综上所述，本申请现提出压电驱动MEMS反射镜解决上述出现的问题。发明内容[0005]本发明旨在解决背景技术中提出的问题，本说明书一个或多个实施例的目的在于提出一种压电驱动MEMS反射镜，减小器件面积，保持较大的驱动力。[0006]基于上述目的，本说明书一个或多个实施例提供了压电驱动MEMS反射镜，包括：基底，所述基底具有相对的正面及背面，所述正面具有腔体；镜片，所述镜片位于所述腔体内部；驱动结构，所述驱动结构包括：第一驱动块、第二驱动块、第三驱动块和第四驱动块，所述第一驱动块、第二驱动块、第三驱动块和第四驱动块均与所述基底的腔体内壁固