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气体传感器的传感器元件及朝向传感器元件的保护层形成方法.pdf
2023-06-06
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兴朝****45
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传感器元件在自元件基体的一个端部起算为规定范围的外周部具备末端保护层,该元件基体在该一个端部设置有气体导入口,且被测定气体经过气体导入口而向内部导入,末端保护层具有内侧末端保护层和外侧末端保护层层叠而成的结构,该内侧末端保护层在以分别设置有气孔径为10nm以上且小于1μm的细孔的多孔质单片构成骨架结构的基质区域内存在1μm以上的尺寸的粗大空隙,该外侧末端保护层设置成将内侧末端保护层覆盖,且气孔率小于内侧末端保护层的气孔率,内侧末端保护层中,整体气孔率为40%以上90%以下,粗大空隙率为1%以上55%以下。
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