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振动元件的制造方法。提供槽深的偏差较少、可得到稳定振动特性的振动元件的制造方法。在振动元件的制造方法中,该振动元件的制造方法具有基部以及从所述基部沿着第1方向延伸并沿着与所述第1方向交叉的第2方向排列的第1振动臂和第2振动臂,在所述第1振动臂的两主面和所述第2振动臂的两主面具有带底的槽,该制造方法包含:准备工序,准备石英基板;保护膜形成工序,在所述石英基板的除了槽区域以外的区域形成保护膜,所述槽区域是形成所述槽的区域;以及干蚀刻工序,隔着所述保护膜对所述石英基板进行干蚀刻而形成所述槽,设置在所述第1振动臂和所述第2振动臂中的至少任意一方上的所述槽具有沿着所述第2方向排列的第1槽和第2槽。