振动元件的制造方法.pdf
春岚****23
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振动元件的制造方法.pdf
振动元件的制造方法。提供槽深的偏差较少、可得到稳定振动特性的振动元件的制造方法。在振动元件的制造方法中,该振动元件的制造方法具有基部以及从所述基部沿着第1方向延伸并沿着与所述第1方向交叉的第2方向排列的第1振动臂和第2振动臂,在所述第1振动臂的两主面和所述第2振动臂的两主面具有带底的槽,该制造方法包含:准备工序,准备石英基板;保护膜形成工序,在所述石英基板的除了槽区域以外的区域形成保护膜,所述槽区域是形成所述槽的区域;以及干蚀刻工序,隔着所述保护膜对所述石英基板进行干蚀刻而形成所述槽,设置在所述第1振动臂
制造防伪元件的方法.pdf
本发明涉及一种用于制造防伪元件(12)的方法,所述防伪元件具有反射的面区域(16),所述反射面区域对于观察者而言能够被视为三维的具有相对于其真实的空间形状凸出和/或凹进的表面的、形式为预设的三维的图案的浮雕图案,其中,在所述方法中,由预设的三维的图案在x‑y平面中产生二维的具有所述图案的平面投影(22)的第一部分图像(20)并且在所述图案的投影内产生二维的具有精细的轮廓线的第二部分图像(24);为第一部分图像(20)预设针对图案的平面投影(22)的粗略隆起G(x,y);为第二部分图像(24)预设针对每个精
半导体元件制造方法.pdf
本发明公开了一种半导体元件制造方法,其包含在基板上的第一区域形成第一图案层,在第一图案层与基板上形成旋涂材料层,在旋涂材料层上形成蚀刻停止层,以及在蚀刻停止层上形成第一遮罩层。在不同段的蚀刻程序中进行蚀刻时,蚀刻停止层可以调整遮罩图案层的侧边,提升了半导体元件上图案的精细度以及蚀刻轮廓的品质。
成像元件及其制造方法.pdf
一种固态图像传感器,包括:基板,其中设有光电转换元件,光电转换元件将入射光量转换成电荷量;存储单元,设置在光电转换元件的一侧,存储单元接收来自光电转换元件的电荷量;第一光屏蔽部,形成在存储单元的第一侧,且设置在电荷累积区域和光电转换元件之间;以及第二光屏蔽部,形成在存储单元的第二侧,第二侧与第一侧相对。
振动元件.pdf
本发明涉及一种振动元件,其包括有:一对支撑架;一下弹性片,跨设于该对支撑架底部;一磁回结构,结合于该下弹性片顶面且具有磁间隙;一上弹性片,跨设于该对支撑架顶部;一线圈组,结合于该上弹性片底面且具有一对引线,而令该线圈组位于该磁间隙内;一振动板,结合于该上弹性片;以及一对电连接板,结合于该上弹性片或该振动板而供该对引线电性连接。由此,用以解决现有技术无法产生较大振动能量的问题,而具有得以产生较大振动能量的功效。