阻性器件的测试方法、测试装置与计算机可读存储介质.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115902444A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202110892569.3(22)申请日2021.08.04(71)申请人浙江驰拓科技有限公司地址311300浙江省杭州市临安市青山湖街道励新路9号(72)发明人何世坤赵京升江家豪(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240专利代理师霍文娟(51)Int.Cl.G01R31/00(2006.01)G01R27/02(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图3页(54)发明名称阻性器件的测试方法、测试装置与计算机可读存储介质(57)摘要本申请提供了一种阻性器件的测试方法、测试装置与计算机可读存储介质，该阻性器件的测试方法包括：获取测试结构中的各测试单元的电阻，得到多个电阻值，其中，测试结构包括多个测试单元，各测试单元包括多个依次串联的阻性器件组，阻性器件组包括多个并联的阻性器件；根据多个电阻值，确定失效的测试单元的数量；根据失效的测试单元的数量，确定阻性器件的失效率。该方法只需要获取多个测试单元的多个电阻值，根据多个电阻值确定失效的测试单元的数量，进而确定阻性器件的失效率，该测试方法不需要获取测试单元的其他的数据，这样保证了确定阻性器件的失效率的方法较为简单和高效，从而解决了现有技术中难以高效检测阻性器件小概率失效的问题。CN115902444ACN115902444A权利要求书1/2页1.一种阻性器件的测试方法，其特征在于，包括：获取测试结构中的各测试单元的电阻，得到多个电阻值，其中，所述测试结构包括多个所述测试单元，各所述测试单元包括多个依次串联的阻性器件组，所述阻性器件组包括多个并联的阻性器件；根据多个电阻值，确定失效的所述测试单元的数量；根据失效的所述测试单元的数量，确定所述阻性器件的失效率。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据多个电阻值，确定失效的所述测试单元的数量，包括：根据多个所述电阻值，确定电阻期望值，所述电阻期望值为多个所述电阻值的平均值或者中位数；根据所述电阻期望值和所述电阻值，确定多个电阻偏差值；比较各所述电阻偏差值和偏差阈值，并根据各比较结果确定失效的所述测试单元的数量，在所述比较结果表征所述电阻偏差值大于所述偏差阈值的情况下，确定所述测试单元失效。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述电阻期望值和所述电阻值，确定多个电阻偏差值，包括：计算所述电阻期望值和各所述电阻值的差值，得到多个所述电阻偏差值。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述电阻期望值和所述电阻值，确定多个电阻偏差值，包括：计算所述电阻期望值和各所述电阻值的差值，得到多个预备偏差值；计算多个所述预备偏差值的期望值，得到偏差期望值，所述偏差期望值为多个所述预备偏差值的平均值或者中位数；计算所述电阻值和所述偏差期望值的差值，得到多个更新电阻值；根据多个所述更新电阻值，确定更新电阻期望值，所述更新电阻期望值为多个所述更新电阻期望值的平均值或者中位数；计算各所述更新电阻值和所述更新电阻期望值的差值，得到多个所述电阻偏差值。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据失效的所述测试单元的数量，确定所述阻性器件的失效率，包括：根据失效的测试单元的数量，确定所述测试结构的失效率；根据所述测试结构的失效率，确定所述阻性器件的失效率。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，根据失效的测试单元的数量，确定所述测试结构的失效率，包括：在所述测试单元的数量小于或等于100的情况下，利用公式计算所述测试结构的失效率，其中，p表示一个所述测试单元失效的概率，n表示所述测试结构中所述测试单元的总数，k表示失效的所述测试单元的数量；在所述测试单元的数量大于100的情况下，利用公式计算所述测试结构的失效率，其中，k表示失效的所述测试单元的数量。7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，根据所述测试结构的失效率，确定所述阻2CN115902444A权利要求书2/2页性器件的失效率，包括：利用公式Pd＝1‑(1‑P)^(1/(M*N))计算所述阻性器件的失效率，其中，P表示所述测试结构的失效率，M表示一个所述测试单元中的所述阻性器件组的个数，N表示一个所述阻性器件组中的所述阻性器件的个数。8.根据权利要求2至4中任一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：确定所述偏差阈值，确定所述偏差阈值，包括以下之一：采用公式u＝(Ve*(1+X*RCv))计算所述偏差阈值u，其中，Ve表示所述电阻期望值，X为3，其中，Rap_Cv表示阻性器件的统计分布；采用公式计算所述偏差阈值u，其中，Ve表示所述电阻期望值，X为3，其中，Rap_Cv表示阻性器件的统计分布。9.一种阻性器件的测试装置，其特征在