一种有机氯硅烷工艺尾气回收利用方法.pdf

本发明涉及一种有机氯硅烷工艺尾气回收利用方法，其特征在于将苯基氯硅烷生产中热缩合炉产生的不凝尾气中的四氯化硅(SiCl4)用可大量溶解四氯化硅的有机溶剂(苯、甲苯、二甲苯、氯苯等芳烃及其衍生物等)吸收去除，洁净的氯化氢气体进入石墨降膜吸收塔用水吸收生成盐酸外售。改变现有工艺中将混合气体直接用水冲泵吸收后加碱中和后外排。本发明工艺简单，节省人工，成本低，能耗小，操作简便，容易实施，尾气中的四氯化硅和氯化氢全部回收利用，变废为宝，环境效益和经济效益显著。

2023-06-05

10

233KB

一种利用细硅粉生产氯硅烷的方法及氯硅烷产品.pdf

本发明公开了一种利用细硅粉生产氯硅烷的方法及氯硅烷产品，涉及有机硅技术领域。该利用细硅粉生产氯硅烷的方法包括：将细硅粉造粒后再进行烘干得到反应硅粒；将反应硅粒、氧气和氯化氢在流化床中反应，其中，氧气和反应硅粒的质量比为2‑5:100，优选为3‑5:100。该氯硅烷产品应用上述利用细硅粉生产氯硅烷的方法制备而得。其通过在利用细硅粉生产氯硅烷的过程中通入氧气，以破坏细硅粉表面包裹的碳，从而使细硅粉造粒干燥后得到的反应硅粒和氯化氢气体在流化床中反应，得到氯硅烷产品，产品的收率在86％以上。由此制备得到的产品生产

2023-06-12

10

258KB

乙烯与硅烷反应的氯基SiC-CVD外延制程尾气FTrPSA回收与循环再利用方法.pdf

本发明公开了乙烯与硅烷反应的氯基SiC‑CVD外延制程尾气FTrPSA回收与循环再利用方法，属于半导体材料与半导体制程环保领域，以解决现有的SiC‑CVD外延制程制备成本高，无法从尾气中回收再利用的问题，通过预处理、浅冷氯硅烷吸收、浅冷变压吸附浓缩、吸附净化、变压吸附提氢、氢气纯化、多级蒸发/压缩/冷凝、HCl精制、氯硅烷中浅冷精馏、乙烯/硅烷分离、硅烷提纯与乙烯精制工序，回收高纯度、高收率的回收H

2023-06-11

10

586KB

乙烯与硅烷反应的SiC-CVD无氯外延制程尾气FTrPSA回收与循环再利用方法.pdf

本发明公开了乙烯与硅烷反应的SiC‑CVD无氯外延制程尾气FTrPSA回收与循环再利用方法，属于半导体材料与半导体制程环保技术领域，以解决现有的处理的方法耗能高，成本高，不安全，大量有效组分未能有效利用，排放还带来温室效应的问题，通过预处理、中温变压吸附浓缩、浅冷变压吸附浓缩、吸附净化、氢气纯化、浅冷油吸收、中浅冷精馏、硅烷提纯与乙烯精制工序，将尾气中的氢气、硅烷、乙烯及甲烷有效组分进行了高纯度高收率的回收并返回至SiC‑CVD外延制程循环再利用，既实现尾气的有效组分全回收与循环再利用，又减少了尾气排放，

2023-06-11

10

589KB

一种回收利用结晶尾气中三聚氯氰的方法.pdf

本发明提供了一种回收利用结晶尾气中三聚氯氰的方法，属于化工生产技术领域，先将结晶尾气进入洗涤装置并通过吸收剂进行洗涤；经洗涤后产生的三聚氯氰与吸收剂的混合液从洗涤装置下部排入备用储罐，经洗涤后的结晶尾气进入上方的除雾装置进行除雾；除去雾粒的结晶尾气进入用于回收吸收剂的处理单元，除去吸收剂的结晶尾气进入尾气吸收塔；进入到尾气吸收塔内的结晶尾气与碱液反应生成次氯酸钠。本发明提供的回收利用结晶尾气中三聚氯氰的方法，除雾装置解决了管道、尾气吸收塔被堵塞的问题，使生产能够连续、平稳运行；提高了三聚氯氰收率1％，提高

2023-06-12

10

295KB