固态摄像装置及其制造方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115917748A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202180041982.7(74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理(22)申请日2021.06.25有限责任公司11290专利代理师鲁叶姚鹏(30)优先权数据2020-1182912020.07.09JP(51)Int.Cl.H01L27/146(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G02B1/11(2015.01)2022.12.12H04N25/00(2023.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2021/0240972021.06.25(87)PCT国际申请的公布数据WO2022/009693JA2022.01.13(71)申请人索尼半导体解决方案公司地址日本神奈川县(72)发明人藤井宣年斋藤卓深谷天权利要求书2页说明书20页附图26页(54)发明名称固态摄像装置及其制造方法(57)摘要本发明涉及能够抑制光斑的产生的固态摄像装置及其制造方法。该固态摄像装置包括：半导体基板，其上形成有设置有多个像素的像素区域；以及透明结构体，其具有中空结构，并且通过树脂与半导体基板的光入射面侧接合。在该固态摄像装置中，透明结构体包括玻璃基板和透明膜，并且在玻璃基板和透明膜之间形成有中空结构。本发明例如能够应用于摄像装置。CN115917748ACN115917748A权利要求书1/2页1.一种固态摄像装置，其包括：半导体基板，其中形成有配置有多个像素的像素区域；以及透明结构，其通过树脂与所述半导体基板的光入射面侧接合，并且具有中空结构。2.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，所述透明结构包括玻璃基板和透明膜，并且所述中空结构形成在所述玻璃基板与所述透明膜之间。3.根据权利要求2所述的固态摄像装置，其中，所述中空结构是通过用所述透明膜密封在所述玻璃基板中以规定的深度形成的开口而形成的。4.根据权利要求2所述的固态摄像装置，其包括防反射膜，所述防反射膜位于所述中空结构的内表面处。5.根据权利要求4所述的固态摄像装置，其中，所述防反射膜包括相互层叠的多个透明膜。6.根据权利要求5所述的固态摄像装置，其中，所述多个透明膜构成为折射率从所述光入射面侧起依次降低。7.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，在平面图中，所述中空结构仅形成在与所述像素区域对应的区域中。8.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，在平面图中，所述中空结构形成在所述透明结构的整个区域中。9.根据权利要求3所述的固态摄像装置，其中，所述透明结构具有多级的所述中空结构。10.根据权利要求9所述的固态摄像装置，其中，所述多级的所述中空结构的所述开口在各级具有不同的宽度。11.根据权利要求9所述的固态摄像装置，其中，在平面图中，所述多级的所述中空结构的所述开口形成为覆盖整个所述像素区域。12.根据权利要求3所述的固态摄像装置，其中，所述透明结构中的所述开口形成为线状。13.根据权利要求12所述的固态摄像装置，其中，所述透明结构具有多级的所述中空结构，并且各级的所述开口排列不同。14.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，所述中空结构设置在作为所述透明结构的光入射面的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面中的至少任意一者上。15.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其还包括校正膜，所述校正膜设置在作为所述透明结构的光入射面的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面中的任意一者上。16.一种固态摄像装置的制造方法，其中：在透明结构中形成中空结构；以及用树脂将所述透明结构与形成有多个像素区域的半导体基板的光入射面侧接合。17.根据权利要求16所述的固态摄像装置的制造方法，其中，所述透明结构包括玻璃基板，并且所述方法包括：通过蚀刻在所述玻璃基板中形成开口，然后在所述开口的上部处形成2CN115917748A权利要求书2/2页透明膜，从而密封所述开口，形成所述中空结构。18.根据权利要求17所述的固态摄像装置的制造方法，其中，通过所述蚀刻形成所述开口，使其具有矩形横截面形状。19.根据权利要求17所述的固态摄像装置的制造方法，其中，所述蚀刻是湿蚀刻，并且密封所述开口的膜是通过CVD形成的。20.根据权利要求17所述的固态摄像装置的制造方法，其中：在所述开口的侧面和底面形成多个透明膜，并且所述透明膜的折射率从入射光的所述光入射面侧起依次减小。3CN115917748A说明书1/20页固态摄像装置及其制造方法技术领域[0001]本技术涉及固态摄像装置及其制造方法，特别是涉及能够减少光斑的产生的固态摄像装置及其制造方法。背景技术[0002]为了满足对更紧凑的半导体器件的需求，已经开发出能够将半导体器件的尺寸缩小到芯片尺寸级别的