折叠型电光调制器.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115903283A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202110955347.1G02F1/225(2006.01)(22)申请日2021.08.19(71)申请人南京刻得不错光电科技有限公司地址210000江苏省南京市江北新区智能制造产业园（智合园）科创大道9号A1幢405-1室(72)发明人梁寒潇宋一品周颖聪巫海苍毛文浩宋时伟孙维祺俞清扬(74)专利代理机构北京市汉坤律师事务所11602专利代理师王其文张涛(51)Int.Cl.G02F1/03(2006.01)G02F1/035(2006.01)G02F1/21(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图9页(54)发明名称折叠型电光调制器(57)摘要提供一种折叠型电光调制器，包括：无交叉依次排列的第一主电极、第一波导臂、第二主电极、第二波导臂和第三主电极；及，在任意偶数序位的射频调制区设置的以下结构：多个第一子电极，分别通过与第一波导臂绝缘交叉的第一连接臂连接第一主电极的靠近第二主电极的一侧；多个第二子电极，分别通过与第一波导臂绝缘交叉的第二连接臂连接第二主电极的靠近第一主电极的一侧；多个第三子电极，分别通过与第二波导臂绝缘交叉的第三连接臂连接第二主电极的靠近第三主电极的一侧；及多个第四子电极，分别通过与第二波导臂绝缘交叉的第四连接臂连接第三主电极的靠近第二主电极的一侧。本公开实施例方案可以兼顾器件的性能需求和尺寸需求。CN115903283ACN115903283A权利要求书1/2页1.一种折叠型电光调制器，包括：整体呈折叠状且相互无交叉的第一波导臂和第二波导臂；整体呈折叠状且相互无交叉的第一主电极、第二主电极和第三主电极，第一波导臂位于第一主电极和第二主电极之间，第二波导臂位于第二主电极和第三主电极之间，第一主电极和第三主电极为射频信号的地电极，第二主电极为射频信号的信号电极；以及沿第一波导臂和第二波导臂的传输方向，在折叠型电光调制器的任意偶数序位的射频调制区设置的以下结构：多个第一子电极，每个第一子电极通过一个与第一波导臂绝缘交叉的第一连接臂连接第一主电极的靠近第二主电极的一侧；多个第二子电极，每个第二子电极通过一个与第一波导臂绝缘交叉的第二连接臂连接第二主电极的靠近第一主电极的一侧；多个第三子电极，每个第三子电极通过一个与第二波导臂绝缘交叉的第三连接臂连接第二主电极的靠近第三主电极的一侧；以及多个第四子电极，每个第四子电极通过一个与第二波导臂绝缘交叉的第四连接臂连接第三主电极的靠近第二主电极的一侧。2.根据权利要求1所述的折叠型电光调制器，其中，每个第一子电极与对应的第一连接臂构成第一T形结构，每个第二子电极与对应的第二连接臂构成第二T形结构，多个第一T形结构和多个第二T形结构沿射频调制区的延伸方向交替排列，相邻第一子电极之间的间隙小于第二子电极的长度，相邻第二子电极之间的间隙小于第一子电极的长度；以及每个第三子电极与对应的第三连接臂构成第三T形结构，每个第四子电极与对应的第四连接臂构成第四T形结构，多个第三T形结构和多个第四T形结构沿射频调制区的延伸方向交替排列，相邻第三子电极之间的间隙小于第四子电极的长度，相邻第四子电极之间的间隙小于第三子电极的长度。3.根据权利要求1所述的折叠型电光调制器，其中，每个第一子电极与对应的第一连接臂构成第一L形结构，每个第二子电极与对应的第二连接臂构成第二L形结构，多个第一L形结构和多个第二L形结构沿射频调制区的延伸方向交替排列，每个第一子电极与一个第二子电极在射频调制区的延伸方向上的正投影相交叠；以及每个第三子电极与对应的第三连接臂构成第三L形结构，每个第四子电极与对应的第四连接臂构成第四L形结构，多个第三L形结构和多个第四L形结构沿射频调制区的延伸方向交替排列，每个第三子电极与一个第四子电极在射频调制区的延伸方向上的正投影相交叠。4.根据权利要求1所述的折叠型电光调制器，其中，折叠型电光调制器包括依次设置的衬底、隔离层、波导层、绝缘层和电极层，其中，第一波导臂和第二波导臂位于波导层；第一主电极、第二主电极、第三主电极、第一子电极、第一连接臂、第二子电极、第二连接臂、第三子电极、第三连接臂、第四子电极和第四连接臂位于电极层；以及第一连接臂和第二连接臂与第一波导臂通过绝缘层绝缘隔离，第三连接臂和第四连接2CN115903283A权利要求书2/2页臂与第二波导臂通过绝缘层绝缘隔离。5.根据权利要求4所述的折叠型电光调制器，其中，波导层为脊凸图案层；或者，波导层为脊波导层，包括平板层和位于平板层的远离衬底的一侧的脊凸图案层，第一波导臂和第二波导臂位于脊凸图案层。6.根据权利要求4所述的折叠型电光调制器，其中，波导层为脊波导层，包括平板层和位于平板